紫外单面光刻机URE-2000/35A
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品牌名称：$brandModel.Title型号：URE-2000/35A原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/19 9:27:08
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详细内容
URE-2000/35A 型紫外单面光刻机
主要技术参数：
（1）曝光面积：100mm×100mm；
（2）照明不均匀性： ≤3%（ Ф100mm 范围）；
（3）分辨力：1.0 μm（胶厚 2.0 μm 的正胶，365nm 波长）
（4）对准精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸；
（6）样片尺寸：直径 Ф15mm－－ Ф100mm、厚度 0.1mm－－6mm；
（7）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm;Thelta:±6°；
（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外 LED（进口）；
（10）曝光波长：365nm；
（11）曝光强度：≥20mW/cm2；
（12）曝光定时：倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).
（13）调平接触压力通过传感器保证重复
（14）数字设定对准间隙和曝光间隙
（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口
技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。
（1）曝光头系统包括:
◆ 进口紫外 LED 光源模块；
◆ LED 光源整形模块；
◆ XYZ 光源位置调节台；
◆ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 个透镜）、场镜组、反射镜组）；
◆ 冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括：
◆ 掩模样片相对运动台（XY）；
◆ 转动台；
◆ 样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；
◆ 样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；
◆ 承片台 4 个（Ф15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 个）；
◆ 掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 个）。
（3）CCD 对准显微镜系统包括：
◆ 对准光源 LED 灯；
◆ 双目双视场对准显微镜主体；
24 ◆ 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）；
◆ 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）；
◆ CCD 部件；
◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。
（4）电控系统包括：
◆ 单片机控制系统；
◆ 紫外 LED 电源模块；
◆ 控制柜桌。
（5）气动系统包括：
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6)．辅助设备配置:
◆ 真空泵 1 台（干泵）；
◆ 静音空气压缩机 1 台；
◆ 配套接管 10m；
(7)．备品备件
◆ 对准光源灯 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）；
热门标签：光刻机,URE-2000/35A光刻机,紫外单面光刻机
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