紫外光刻机URE-2000/34AL型
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品牌名称：$brandModel.Title型号：URE-2000/34AL型原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/19 9:27:31
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详细内容
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技术参数
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UV光源：进口LED模块
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曝光中心波长：365nm
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光源平行性：≤2º
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曝光分辨率： 0.8μm-1μm
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大曝光能量密度：>35mW/cm²可调
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照度不均匀性：≤2.5%(直径150mm范围)
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曝光面积：160mm*160mm
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光源寿命：2万小时
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曝光设定：定时
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曝光头工作模式：曝光位对准位自动切换（后移动）
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套准精度：±0.8-1μm
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可执行曝光模式：真空接触、硬接触、压力接触、接近式，
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间隙设定方式：数字设定曝光间隙，可自动分离和消除间隙
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样片、掩模版相对移动范围：X: ±5mm， Y: ±5mm， θ=±6º
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掩模版找平方式：球气浮自动找平
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可支持掩模版尺寸： 3″×3″、4″×4″、5″×5″、7″×7″各一件
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标配承片台 ： 2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
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标准配件可兼容样片厚度：0.1-6mm，其他尺寸可定制
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对准系统：光学+CCD,显微倍数：放大倍率：150倍⁻⁷20倍可调
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双物镜可调距离范围：30mm-120mm
显微扫描范围：Y:±40mm（数字设定）
配置
设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。
热门标签：URE-2000/34AL型光刻机
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