紫外单面光刻机URE-2000/35AL 型
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title型号：URE-2000/35AL 型原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/19 9:27:08
支付方式：
- 支付宝 微信 银行转账
产品完善度： 访问次数：1257
光刻机&3D打印机
- 德国Nnaoscrib
- 德国Heidelberg
- 德国Zeiss
- 德国Eulitha
- 瑞士Swisslitho AG
- 瑞典Mycronic
- 英国Durham
- 英国Nanobean
- NanoArch
- 德国ParcanNano 百及纳米针尖电子束光刻系统
- 德国SUSS
- 美国Sonoplot
- 美国Photonics
- 美国OAI
- China
- 俄罗斯Optosystem
- 美国Coherrent
- 中科院
- 纳米压印机
- Elinoix 电子束光刻机
- 尼康Nikon光刻机
- 奥地利EVG紫外纳米压印系统
- 激光微加工设备
- 瑞士 NnaoFrazor 光刻机
- 英国AML晶圆键合机
- 德国Raith 电子束光刻机
- 德 xiton 准分子激光器
镀膜沉积机
- 德国Iplas
- 德国Sentech
- 英国HHV
- 英国Oxford
- 英国Denton
- 芬兰Picosun
- 美国Nano-master
- 法国Iplas
- 美国TED Pella
- 荷兰 TSST
- 美国Denton Vacuum
- 美Arradiance
- 法国Plassys
- 英国Oxford Vacuum
- 日立Hitachi
- 美国Neocera
- 德国MBE-Komponenten 分子束外延系统
- 英国Quorum涡轮分子泵抽真空镀膜仪
- Syskey 镀膜系统
离子刻蚀与沉积
匀胶涂覆机
半导体辅助设备
半导体微纳检测仪器
- 德国Zeiss扫描电镜
- 德国KSI超声波扫描显微镜
- 德国Mecwins扫描式激光分析仪
- 美国Nanovea三维表面形貌仪
- 德国Sentech薄膜测量仪/光伏测量仪
- 德国Klocke Nanotech 3D纳米级三维测量仪
- 德国YXLON 高分辨率Ｘ射线检测设备
- 瑞士Nanosurf 原子力显微镜
- 日本Ribm原子力显微镜
- 日本AND粒子计数器
- 日本JEOL显微镜
- 德国Bruker光谱仪/显微镜/台阶仪
- 韩国Ecopia美国MMR霍尔效应测试仪
- 探针台
- 美国Sonix超声波扫描显微镜
- 美Royce拉力性能测试及芯片拾取放置
- 美国Filmetrics膜厚测量仪
- 美国RTI自动特性图示仪
- 美国TEX Keithley半导体参数分析仪
- 美国MMR霍尔效应测量仪
- 德国neaspec纳米级红外光谱仪
- 少子寿命测试仪
- 纳米压痕仪
- FEI扫描电镜Thermo光谱仪
- XRD X射线衍射仪
- X 射线多晶衍射仪
- 日本 IAS 化学检测分析系统
- 德国IPI 水汽分析系统
- 德国PVA TePla 超声波扫描显微镜
- 德国ThetaMetrisis膜厚测量仪
实验检测仪器
- PPMS 综合物性测量系统
- MPMS3最新一代磁学测量系统
- Anasazi 科研用小型无液氦核磁共振波谱仪
- DynaCool 全新一代完全无液氦综合物性测量系统
- Oxford pulsar 实验室智能核磁共振波谱仪
- 纽迈核磁共振分业析
- Neaspec 德国真空太赫兹近场光学显微镜
- OptoCool 超精准全开放强磁场低温光学研究平台
- 德Attocube低温强磁场原子力/磁力显微镜
- Super-ME-II多铁性磁电测量系统
- Bruker 手持拉曼光谱仪
- 德国耐驰Netzsch
- 德国Moeller 测角仪
- 美Associated 耐压测试仪
- 接触角测量仪
- 氟油检漏仪
- 光学式坐标测量仪
- 光功率计
- Thorlabs傅立叶红外光谱仪
- 纳米压痕仪
- 日本Tohuko 超高灵敏度材料氧化分析仪
- 超精细多功能无液氦低温光学恒温器
- 振动样品磁强计
- 法Alyxan 高分辨质子传递反应质谱
- nanosc 高精度铁磁共振仪
- 美Microsense 磁克尔效应测量系统
- 智能型氦液化器
- 美OAI 光功率计
- 英Glovebox 手套箱
- LakeShore 振动样品磁强计
- 德国Attocube 显微镜
- 粒子碰撞噪声检测仪
- Rion 液体光学颗粒度仪
- ADLEMA 检漏机
- 德YXLON CT检测
- 电子元器件水份分析仪
紫外清洗等离子清洗机
- 美Harrich 等离子清洗机
- 德Diener 等离子清洗机
- 德PVA Tepla 微波等离子清洗机
- 美Nano-master 晶圆清洗机
- 美国Jelight UV清洗机
- 日本SEN 紫外UV清洗机UV灯
- 蓝星宇UV清洗机
- SAMCO紫外臭氧清洗机
太阳能检测仪
UV灯
日立Hitachi
半导体辅助工艺/光刻胶
光刻胶/硅片
化学开封机 / 激光开封机
日本Elionix
德国Lecia 切片掩膜一体机
尼康Nikon光刻机
奥地利EVG光刻杨键合机压印机
日本理音Rion 微粒子计数器
德国Netzsch
德国YXLON 检测仪
企业档案
会员类型：标准版
已获得阿仪网信誉 等级评定
(0 -40)基础信誉积累，可浏览访问
(41-90)良好信誉积累，可接洽商谈
(91+ )优质信誉积累，可持续信赖
阿仪网标准版会员：8年
工商认证 【已认证】
最后认证时间：
注册号： 【已认证】
法人代表： 【已认证】
参观次数：848592
手机网站：http://wap.app17.com/c143096/
公司网站：http://www.lxyee.net
详细内容
URE-2000/35AL 型紫外单面光刻机
主要技术参数：
（1）曝光面积：150mm×150mm；
（2）照明不均匀性： ≤4%（ Ф 150mm 范围）；
（3）分辨力：1.0μm（365nm 波长）
（4）对准精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；
（6）样片尺寸：直径 Ф 15mm－－ Ф 150mm、厚度 0.1mm－－6mm；
（7）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta:±6°；
（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外 LED（进口）；
（10）曝光波长：365nm；
（11）曝光强度：≥15mW/cm2 ；
（12）曝光定时：倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).
（13）调平接触压力通过传感器保证重复
（14）数字设定对准间隙和曝光间隙
（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口
技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。
（1）曝光头系统包括:
◆ 进口紫外 LED 光源模块；
◆ LED 光源整形模块；
◆ XYZ 光源位置调节台；
◆ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 个透镜）、场镜组、反射镜组）；
◆ 冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括：
◆ 掩模样片相对运动台（XY）；
◆ 转动台；
◆ 样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；
◆ 样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；
◆ 承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个）；
◆ 掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个）。
（3）CCD 对准显微镜系统包括：
◆ 对准光源 LED 灯；
◆ 双目双视场对准显微镜主体；
◆ 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）；
◆ 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）；
◆ CCD 部件；
◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。
（4）电控系统包括：
◆ 单片机控制系统；
◆ 紫外 LED 电源模块；
◆ 控制柜桌。
（5）气动系统包括：
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6)．辅助设备配置:
◆ 真空泵 1 台（干泵）；
◆ 静音空气压缩机 1 台；
◆ 配套接管 10m；
(7)．备品备件
◆ 对准光源灯 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）
热门标签：URE-2000/30,型紫外单面光刻机,光刻机,URE-200/30
相关文章
相关产品
-
电议 -
电议
-
电议
-
电议
-
电议
