紫外双面光刻机URE-2000S/A8 型
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品牌名称：$brandModel.Title型号：URE-2000S/A8 型原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/19 9:27:08
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详细内容
URE-2000S/A8 型紫外双面光刻机
主要技术参数
。曝光面积：8 英寸
。曝光波长：365nm： 15mW/cm，405nm：15-30mW/cm2
。分辨力：1 μm
。对准精度：±2 μm （双面,片厚 0.8mm）±0.8 μm （单面）
。掩模尺寸：4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸
。样片尺寸：3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸，厚度 0.1mm—2mm
。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
。调平接触压力通过传感器保证重复
。 数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口，也具备接近模块接口
。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-200mm
。照明不均匀性：5%（Ф200mm 范围）
。掩模相对于样片运动行程：
X：±5mm; Y：±5mm; Thelta：±6 度
。大胶厚：500 μm （SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行性：2°
。具有循环水冷却系统
。汞灯功率：1000W（直流，进口）
外形尺寸：1400mm（长）x1200mm(宽) x2000mm（高）
设备构成与配置明细
设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底面 CCD 对准系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。
（1）曝光头系统包括：
。冷光椭球镜
。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇.
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台系统包括：
。掩模样片相对运动台（XY）
。转动台（θ）
。样片自动调平机构
。样片调焦机构承片台 4 个 （3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸）
。掩模架 4 个 （4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸）
。掩模翻转及旋转机构
（3）对准显微镜（可选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括：
。LED 照明及配套电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
。CCD 及光学成像系统
。XYZ 底面对准工件台（两套）
（4）底面 CCD 对准系统
。LED 照明及配套电源
。CCD 及光学成像系统(2 套)
。数据采集卡
（5）电控系统
。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桌
。计算机系统（22 英寸宽屏液晶显示器）
（6）气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
（7）其他附件（选配）
。真空泵一台（无油静音型）
。空压机一台（无油静音型）
。恒温循环水冷却系统
。管道
热门标签：光刻机,URE-2000S/B型紫外双面光刻机
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