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法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统SSDR 150

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品牌名称：$brandModel.Title型号：SSDR 150原产地：欧洲更新时间：2026/10/19 9:27:02

产品摘要：法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150 ，门用于合成 CVD 金刚石薄膜，能够制备高纯单晶(需高纯气源）、厚单晶、大单晶、多晶薄膜、光学窗口。SSDR150 不断优化的微波及等离子体设计，是一款可靠的、稳定的、长时间运行的金刚石薄膜生长系统，能够完美地适用于高校科研和企业生产。

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法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150

SSDR150 微波等离子体化学气相沉积系统门用于合成 CVD 金刚石薄膜，能够制备高纯单晶(需高纯气源）、厚单晶、大单晶、多晶薄膜、光学窗口。SSDR150 不断优化的微波及等离子体设计，是一款可靠的、稳定的、长时间运行的金刚石薄膜生长系统，能够完美地适用于高校科研和企业生产。

SSDR150 系统特点

。铝合金腔体+内置石英管反应室，支持长时间高功率下工作

。工艺气压可达 350 mbar 或更高，可以高速率生长单晶

。微波源为 2.45GHz、大功率 6 kW，高耦合效率

。标准配置 4 条气路，多可增加至 7 条气路（掺杂气路）

。2 英寸水冷样品台，高度电动可调、精度优于 10μm (可选)

。双色红外高温计测试样品表面温度，范围 475-1475 °C

。爱德华兹分子泵+ 干泵，佳真空度≤ 3×10⁻⁷ mbar

。高水平金刚石生长工艺培训及演示（内容根据应用而定）

。全自动控制、半自动和手动可用，图形化操作界面（GUI）

。多用户设置和管理、远程诊断和维护、数据导出接口

。多用途：高纯度单晶、厚单晶、大单晶、掺杂、光学窗口

。设备维护少、安全、可靠、稳定、性价比高