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德国 PVA TePla 等离子去胶机IoN 100WB-40Q
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品牌名称：$brandModel.Title型号：IoN 100WB-40Q原产地：欧洲 更新时间：2026/10/19 9:26:24
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详细内容
德国 PVA TePla 等离子去胶机
型号：IoN 100WB-40Q等离子去胶机
IoN 100WB-40Q是我们最新推出的具有高性价比的真空等离子去胶设备。它来源于IoN 100-40Q，IoN 100WB-40Q延续了同样的高品质保障，包括可选压力控制器、光谱终点检测器等丰富配置选择。
IoN 100WB-40Q配备了一个圆筒石英腔，特别适用于半导体、LED、MEMS等领域的光刻胶灰化、打残胶、氮化物刻蚀、表面清洁等应用的批次处理。
IoN 100 WB旨在满足客户的生产需求，着重于表面处理的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、LED、MEMS等领域严格的程序控制要求。IoN 100 WB结构紧凑，集成度高，采用射频（RF）频率激发等离子体。
先进的功能特性：
● 低微粒石英腔体
● 触摸屏操作，图形用户界面（GUI）
● 使用Windows系统的工业计算机控制
● 工艺员、操作元、维护员访问权限控制
● 自诊断功能和警报记录功能，联网在线诊断功能
● 以太网远程控制功能
● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
● 可隔墙安装
● 可选配光谱终点检测功能
规格参数
工作腔室材料 石英
腔门材质 铝（标配）
腔体尺寸 直径304 mm，深508mm
最大可处理晶圆尺寸 8”
最大处理量 50片6”
装料方式 手动
工艺气体
质量流量控制计 最多至6路气体
工艺压力 200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间 大约1分钟 (取决于真空泵)
射频电源 风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源 220V 单相, 50Hz
工艺气体 输入压力 1-2 bar
吹扫气体 输入压力 1-2 bar
压缩空气 输入压力 4-6 bar
机体
● 独立的机体带有所有电源和气体接口
● 带有旋转垫脚的可转动机身
设备尺寸
标准尺寸 1067 x 737 x 1524 mm（宽/高/深，不含泵）
重量 约204千克（不含泵）
可选项
● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 石英腔门
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 耐腐蚀性气体的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射频发生器
● 真空泵（油泵或干泵）
热门标签：IoN,100WB-40Q,德国,PVA,TePla,等离子去胶机
