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德国 Sentech 等离子体增强--原子层沉积系统PE-ALD
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品牌名称：$brandModel.Title型号：PE-ALD原产地：欧洲 更新时间：2026/10/19 9:26:24
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| Sentech PE-ALD 等离子体增强原子层沉积  |
| 详细介绍 |
| PE-ALD 等离子体增强原子层沉积 原子层沉积（ALD）是在3D结构上逐层沉积超薄薄膜的工艺方法。薄膜厚度和特性的精确控制通过在工艺循环过程中在真空腔室分步加入置物实现。等离子增强原子层沉积（PEALD）是用等离子化的气态原子替代水作为氧化物来增强ALD性能的先进方法。 |
热门标签：德国,Sentech,PE-ALD,等离子体增强--原子层沉积系统,原子沉积系统,,沉积机
