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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品:光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

第8年

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德Zeiss 电子束直写仪Sigma SEM

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:Sigma SEM原产地:欧洲 更新时间:2026/10/19 9:26:12

产品摘要:德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪,利用曝光抗蚀剂,采用电子束直接曝光,可在各种衬底材料表面直写各种图形,图形结构(小线宽为10mm),是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件,光子晶体,低维半导体等沿域。

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产品完善度: 访问次数:904

光刻机&3D打印机

镀膜沉积机

离子刻蚀与沉积

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手机网站:http://wap.app17.com/c143096/

公司网站:http://www.lxyee.net

详细内容

德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪

详细介绍

型号:Zeiss Sigma SEM

主要功能:

·利用曝光抗蚀剂,采用电子束直接曝光,可在各种衬底材料表面直写各种图形,图形结构(小线宽为10mm),是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件,光子晶体,低维半导体等沿域。

·技术指标:
·肖特基热场发射电子源
·加速电压:100V~30kV
·放大倍率:12X~1000,000X
·SEM分辨率:1nm@30kV,1.5nm (15kV),2.8nm(1kV)
·电子束曝光:10nm(20kV)
·场拼接精度:<100nm
·扫描频率:6MHz
·图形格式:GDSII

Zeiss Sigma SEM electron beam direct writer

Main functions:

· direct exposure of electron beam with exposure resist can be used to directly write various patterns on the surface of various substrate materials. Graph structure (minimum line width of 10mm) is an important tool for studying the quantum behavior of materials in low dimensions and small sizes.Widely used in nano-devices, photonic crystals, low - dimensional semiconductor and other frontier fields.

热门标签:德Zeiss,Sigma,SEM,电子束直写仪,光刻机,电子束直写仪

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