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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品：光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

第8年

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Syskey 紧凑式溅射系统 Compact Sputter

价格：￥电议

品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：中国港澳台 更新时间：2026/10/19 9:26:03

产品摘要：Syskey 紧凑式溅射系统 Compact Sputter， - 灵活的基板尺寸，最大可达6英寸 - 基板架加热温度最高可达500℃ - 出 色的薄膜均匀性，误差小于±3％ - 最多可配备5个6英寸磁控溅射源（可选配3或4个） - 支持射频、直流或脉冲直流电源 - 最 多可支持3条气体管路 - 支持顺序沉积和共沉积 - 可选配负载锁定腔室

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产品完善度： 访问次数：1582

光刻机&3D打印机

镀膜沉积机

离子刻蚀与沉积

匀胶涂覆机

半导体辅助设备

半导体微纳检测仪器

实验检测仪器

紫外清洗等离子清洗机

太阳能检测仪

UV灯

日立Hitachi

半导体辅助工艺/光刻胶

光刻胶/硅片

化学开封机 / 激光开封机

日本Elionix

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企业档案

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手机网站：http://wap.app17.com/c143096/

公司网站：http://www.lxyee.net

详细内容

image.png

Syskey 紧凑式溅射系统 Compact Sputter

占地面积紧凑的溅射系统，可放置在1平方米以内的区域。尽管设计紧凑，其主要功能与我们标准的高真空溅射系统几乎相同。全自动操作和配方运行模式可支持最基础的应用。

1. Compaet Sputter.jpg


配置与优势：

- 灵活的基板尺寸，最大可达6英寸
- 基板架加热温度最高可达500℃
- 出 色的薄膜均匀性，误差小于±3%
- 最多可配备5个6英寸磁控溅射源（可选配3或4个）
- 支持射频、直流或脉冲直流电源
- 最 多可支持3条气体管路
- 支持顺序沉积和共沉积
- 可选配负载锁定腔室



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热门标签：Syskey,紧凑式溅射系统,Compact,Sputter,Syskey,紧凑式溅射系统,紧凑式溅射系统

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