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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品：光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

第8年

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Syskey 小型多腔体镀膜机 Mini Cluster

价格：￥电议

品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：中国港澳台 更新时间：2026/10/19 9:26:03

产品摘要：Syskey 小型多腔体镀膜机 Mini Cluster, 灵活的基板尺寸可达 2 英寸。 • 基板支架加热或冷却。 • 优 异的薄膜均匀性小于 ±3％。 • 溅射/电子束/热/离子蚀刻/氧化/退气 • 用选定的靶材沉积多层薄膜。 • Torr 可针对不同设备进行选择。 - 可与手套箱集成。

支付方式：

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产品完善度： 访问次数：1425

光刻机&3D打印机

镀膜沉积机

离子刻蚀与沉积

匀胶涂覆机

半导体辅助设备

半导体微纳检测仪器

实验检测仪器

紫外清洗等离子清洗机

太阳能检测仪

UV灯

日立Hitachi

半导体辅助工艺/光刻胶

光刻胶/硅片

化学开封机 / 激光开封机

日本Elionix

德国Lecia 切片掩膜一体机

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日本理音Rion 微粒子计数器

德国Netzsch

德国YXLON 检测仪

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法人代表： 【已认证】

参观次数：848592

手机网站：http://wap.app17.com/c143096/

公司网站：http://www.lxyee.net

详细内容





image.png

Syskey 小型多腔体镀膜机 Mini Cluster

真空技术在半导体行业中发挥着重要作用。半导体溅射、光刻、蚀刻等制造工艺需要在真空室中进行，以减少气体分子对基板的影响, 经过加工，保证生产质量。在半导体制造中过程，不同类型的处理。

11. Mini Cluster.jpg


配置和优势：


• 灵活的基板尺寸可达 2 英寸。
• 基板支架加热或冷却。
• 优 异的薄膜均匀性小于 ±3%。
• 溅射/电子束/热/离子蚀刻/氧化/退气
• 用选定的靶材沉积多层薄膜。
• Torr 可针对不同设备进行选择。
- 可与手套箱集成。


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