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Syskey 等离子增强原子沉积 PEALD
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品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：中国港澳台 更新时间：2026/10/19 9:26:03
产品摘要：Syskey 等离子增强原子沉积 PEALD,我们生产用于超薄氧化物和氮化物涂层的 ALD 和 PEALD 系统。6 前体线路可支持5种材料沉积，气体管路拓宽反应窗户。紧凑的手套箱集成不占用额外的实验室空间。
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