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德国Raith eLINE Plus 电子束光刻机
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品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：欧洲 更新时间：2026/10/19 9:27:42
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德国Raith eLINE Plus 电子束光刻机
Discover nanoengineering beyond Electron Beam Lithography
eLINE Plus®是广泛用于寻求将高效且无妥协的电子束光刻系统与开放平台相结合进行进一步纳米加工工艺和技术的大学和研究机构的最 优系统。
为了应对最 广泛的应用范围，现代纳米技术研究需要在经典和纯电子束光刻(EBL)之外采用多种技术——最 好是在原位。
除了完全集成的纳米操作器和用于电子束诱导沉积和蚀刻的机制外，还有一系列进一步的可选功能，这使得eLINE Plus成为目前最 通用和独特的纳米工程电子束光刻系统。
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