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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品:光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

第8年

当前位置: 阿仪网 > 光学仪器 > 配件耗材 > 粘接用品 > 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 > 产品展示 > 半导体辅助设备 > 光刻胶 > 电子束光刻胶ZEP520A

电子束光刻胶ZEP520A

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:ZEP520A原产地:欧洲 更新时间:2026/10/19 9:27:06

产品摘要:ZEP520A是一种高性能正电子束电阻,具有高分辨率、高分辨率敏感性和耐干腐蚀性。适用于各种电子束工艺。

支付方式:

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产品完善度: 访问次数:1839

光刻机&3D打印机

镀膜沉积机

离子刻蚀与沉积

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半导体辅助设备

半导体微纳检测仪器

实验检测仪器

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太阳能检测仪

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参观次数:848592

手机网站:http://wap.app17.com/c143096/

公司网站:http://www.lxyee.net

详细内容

产品详情

1. Characteristics

ZEP520A is high performance positive EB resists which show high resolution, high sensitivity and dry etch resistance.

They are suitable for various EB processes.

(1) Resolution

Shows high resolution and rectangle pattern profile.

(2) Resistance to dry etching

Shows high dry etch resistance and they are almost equivalent to that of positive photoresists generally used.

(3) Sensitivity

Shows high sensitivity.

2. Properties

7. Spin Curve

8.Dependence on Prebake Temperature

9.Dependence on Development Temperature

9.Dependence on Development Time

10. Examples of application

11. Dry Etching Resistance

12. Example of Process Conditions

13.Handling Precaution

(1) Flammable Liquid.

(2) Harmful by inhalation.

(3) Avoid contact with skin and eyes.

CAUTION: Open carefully. Use in well ventilated area. In case of contact with skin and eyes, rinse immediately with plenty of water for 15 minutes and get medical attention. In case of fire use Alcohol form CO2 or dry chemical, never use water.

STORAGE: Keep capped and away from oxidants, sparks and open flame. Store at cool[32゚F(0゚C)~77゚F(25゚C)] and dark place. Use in clean room.

14. Appendix

热门标签:英国EM,SML,Resist,电子束光刻胶,英国EM电子束光刻胶,电子束光刻胶

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