德国Raith 电子束光刻机EBPG5150
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品牌名称：$brandModel.Title型号：EBPG5150原产地：欧洲 更新时间：2026/10/15 10:41:15
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详细内容
| 德国Raith EBPG5150 电子束光刻机 | |||
| 详细介绍 | |||
| EBPG5150使用了155mm大小的样品台，采用跟EBPG5200一样的通用光刻平台设计，对电子束直写应用进行了优化。它可以载入不同大小的样品,包括多片散片以及完整的硅片。 00001. 高束流密度，热场发射电子枪可以在20、50和100kV之间切换 00002. 155mm的平台 00003. 最小曝光特征尺寸小于8nm 00004. 高速度曝光，可采用50或100MHz的图形发生器 00005. 在所有KVs加速电压下，可连续改变的写场大小，最大可以到1mm 00006. GUI人机交互界面友好，简洁易用，适用于多用户环境 00007. 多项灵活可选择的配置，可以适用于不同应用的需求 可选的系统增强升级EBPG5150可以选择不同的升级选项，以满足用户不同的技术和预算需求。让全世界的高校等研究类用户也可以使用这款非常先进、高自动化的电子束光刻系统。 EBPG5150 应用·
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