德Raith 电子束光刻机Pioneer Two
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品牌名称：$brandModel.Title型号：Pioneer Two原产地：欧洲 更新时间：2026/10/15 10:41:15
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详细内容
| 德Raith Pioneer Two 电子束光刻机 |
| 详细介绍 |
| Pioneer Two 电子束光刻机：
1. The system is suitable for the sample of 2" ａnd below, using the thermal-field emission gun, ａnd the acceleration voltage is 20V~30kV.High resolution electron beam exposure can be realized, ａnd the minimum acceptance line width is 8nm. 2. The system integrates a high-precision laser interference workbench with a motion stroke of 50 x 50 x 25mm ａnd a positioning accuracy of 2nm in XY direction, which can realize precise Mosaic nesting with a precision of 50nm. 3. The system has the function of high-precision imaging measurement, ａnd its imaging effect is similar to the high-end thermal field electron microscope on the market, with the magnification of 20x ~1,000,000x. 4. In addition to standard configuration, customers can also add some optional accessories, such as backscatter detector ａnd energy spectrometer, for material analysis;Optional table rotation tilt module, to achieve different angles of material imaging.If you choose the appropriate accessories, please increase the corresponding price.
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