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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品:光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

第8年

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ASML 光刻机 Twinscan NXT:1980Di

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:原产地:欧洲 更新时间:2026/10/19 9:26:03

产品摘要:ASML 光刻机 Twinscan NXT:1980Di

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光刻机&3D打印机

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ASML 光刻机 Twinscan NXT:1980Di




NXT:1980Di 虽然分辨率在38nm左右,但是通过多重曝光,依然可以支持到7nm左右。只不过,这样步骤更为复杂,成本更高,良率可能也会有损失。据说台积电的第 一代7nm工艺也是基于 NXT:1980Di 实现的。

目前NXT:1980Di 更多还是被用于45nm以下成熟制程的生产

目前NXT:1980系列已经升级到了NXT:1980 F,NXT:1980D是两代之前的产品了。之前的NXT:1980 D/E都是基于NXT3平台,F是新的NXT4平台,每小时的生产晶圆数量从275wph上升到了295wph,而且NXT4平台还能支持后续升级到330-350wph。


热门标签:ASML,光刻机,Twinscan,NXT:1980Di,,二手光刻机,ASML

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