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技术文章

德国Sentech 光谱反射膜厚仪 RM 2000

点击次数：2792 发布时间：2025/1/8 17:23:24

RM 2000

UV-VIS Spectroscopic Reflectometer
光谱反射膜厚仪

光谱台式反射仪 RM 2000 是用于在宽光谱范围内表征薄膜和大块材料的光学反射测量仪器。紫外-可见光光学反射仪 RM 2000 提供垂直入射角的反射率谱，并通过 FTPadv Expert 软件、按照样品参数例如膜厚、吸收、组分、带隙、颜色、光谱带宽等进行分析。

主要应用是对透明和吸收衬底上的透明膜、半透明膜的快速、简便的膜厚测量。覆盖了从 2 纳米到100 微米的膜厚范围，借助大容量、可扩展的材料数据库、仪器适用于多种材料体系。
RM 2000 测量反射率的原理是基于测量反射光强度、并与参比样片的反射光强度进行对比。参比样片是仪器交付的一部分。
快速运算法则确保实现光学测量、以及高重复率地计算膜厚。AutoModeling（自动建模）功能可通过快速比较谱线数据库、确定样品类型。
紫外-可见光反射仪 RM 2000 包括台式显微镜单元、带样片台和用于照明、较小样片光斑、以及探测反射光的光学设置，还包括样片准直功能、包括自动准直透镜 ACT 和显微镜物镜、用于准确控制样片的高度和倾斜度位置。电子机箱包括内置的微控制器和光谱仪。电子机箱可通过以太网 LAN、与任何运行 MS Windows 操作系统的新型电脑连接。
紫外-可见光反射仪 RM 2000 可选配计算机控制 XY 扫描平台、进行样片特性的扫描。扫描测量软件可定义任意的测量图案、用 2 维或 3 维图显示结果、并实现对样品的统计。
用户软件易于操作、并清晰地呈现测量结果。软件支持单层膜膜厚测量、也支持对复合多层膜的分析。软件提供预置的、用户定义的应用程序。
Technical Specifications 技术指标

原创作者：深圳市蓝星宇电子科技有限公司

德国Sentech 光谱反射膜厚仪 RM 2000

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