QFHDS系列龙门平面气浮采用小孔节流和多孔气浮相结合的方式，极大提高系统的刚度和稳定性。平面式气浮结构，使XY轴运动结构共面，反馈光栅尺在同一个水平面，相当于单轴运动，减小因叠层引起的阿贝误差。此结构具有高速响应频率及位置稳定性，开发的独特气浮结构，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现高速运动和快速的位置整定。
精度性能

采用无铁芯直线电机驱动，交叉解耦控制算法提供双驱轴的运动同步，气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动，亚微米级精度满足超精密加工或测量，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。
线缆管理

使用高质量的无尘线缆，优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，更适合在洁净车间内使用。
定制化
根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。气浮导轨可定制陶瓷材质，重复定位精度±15nm。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升精度性能。

规格指标

型号 Model		单位Units	QFHDS-200-200		QFHDS-300-300
轴系 Axis		—	X	Y	X	Y
行程 Travel		mm	200	200	300	300
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	µm	±0.05		±0.1
	高精版 Plus		±0.1		±0.15
	普通版 Standard		±0.3		±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±15		±15
	高精版 Plus		±50		±50
	普通版 Standard		±75		±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	µm	±0.02		±0.02
	高精版 Plus		±0.075		±0.075
	普通版 Standard		±0.1		±0.1
直线度 (1) Straightness	高精版 Plus	µm	±0.25		±0.25
	普通版 Standard		±0.5		±0.5
平面度 (1) Flatness	高精版 Plus	µm	±0.4		±0.4
	普通版 Standard		±0.75		±0.75
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.5		±0.5
	普通版 Standard		±1		±1
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	2
	普通版 Standard		5
电子分辨率 Electronic Resolution (2)		nm	≤ 1,≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载Max Load		kg	50
供气压力 Operating Pressure (4)		MPa	0.5±0.05

型号 Model		单位Units	QFHDS-350-350		QFHDS-400-400
轴系 Axis		—	X	Y	X	Y
行程 Travel		mm	350	350	400	400
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	µm	±0.1		±0.1
	高精版 Plus		±0.2		±0.2
	普通版 Standard		±0.4		±0.5
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±20		±20
	高精版 Plus		±50		±50
	普通版 Standard		±75		±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	µm	±0.025		±0.025
	高精版 Plus		±0.075		±0.1
	普通版 Standard		±0.1		±0.15
直线度 (1) Straightness	高精版 Plus	µm	±0.3		±0.4
	普通版 Standard		±0.5		±0.75
平面度 (1) Flatness	高精版 Plus	µm	±0.5		±0.5
	普通版 Standard		±0.75		±0.75
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.75		±1
	普通版 Standard		±1.25		±1.5
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	2
	普通版 Standard		5
电子分辨率 Electronic Resolution (2)		nm	≤ 1,≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载 Max Load		kg	50
供气压力 Operating Pressure (4)		MPa	0.5±0.05

型号Model		单位Units	QFHDS-500-500		QFHDS⁻⁷50⁻⁷50
轴系Axis		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	500	500	750	750
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	µm	±0.1		±0.15
	高精版 Plus		±0.2		±0.3
	普通版 Standard		±0.5		±0.75
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±20		±25
	高精版 Plus		±50		±75
	普通版 Standard		±75		±100
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	µm	±0.025		±0.03
	高精版 Plus		±0.1		±0.1
	普通版 Standard		±0.15		±0.15
直线度 (1) Straightness	高精版 Plus	µm	±0.4		±0.5
	普通版 Standard		±0.75		±1
平面度 (1) Flatness	高精版 Plus	µm	±0.5		±0.75
	普通版 Standard		±0.75		±1
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1		±1.5
	普通版 Standard		±1.5		±2
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	2
	普通版 Standard		5
电子分辨率 Electronic Resolution (2)		nm	≤ 1,≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载 Max Load		kg	50
供气压力 Operating Pressure (4)		MPa	0.5±0.05

型号 Model		单位Units	QFHDS-1000-1000		QFHDS-1200-1200
轴系 Axis		—	X	Y	X	Y
行程 Travel		mm	1000	1000	1200	1200
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	µm	±0.25		±0.4
	高精版 Plus		±0.5		±0.75
	普通版 Standard		±1		±1.25
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±50		±75
	高精版 Plus		±100		±120
	普通版 Standard		±120		±150
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	µm	±0.05		±0.075
	高精版 Plus		±0.15		±0.2
	普通版 Standard		±0.2		±0.25
直线度 (1) Straightness	高精版 Plus	µm	±1		±1.25
	普通版 Standard		±2		±2.5
平面度 (1) Flatness	高精版 Plus	µm	±1.25		±1.5
	普通版 Standard		±2		±3
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±2		±2.5
	普通版 Standard		±2.5		±3
正交性 Orthogonality	高精版 Plus	arc sec	2
	普通版 Standard		5
电子分辨率 Electronic Resolution (2)		nm	≤ 1,≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载 Max Load		kg	50
供气压力 Operating Pressure (4)		MPa	0.5±0.05

特殊项目 SpecialItems (5)	单位Units	数值 Data
定位纹波 In Position Stability	nm	默认,≤ 5, ≤50, （≤1 SiC版定制）

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度；

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数；

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小；

4.为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25µm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

5.无特殊项目要求，出厂默认为准。

气浮平台,平面式气浮台,精密运动台,气浮运动台

采购记录

优质供应

我要推广

优质信息推广广告

友情链接
热词推荐

已获得阿仪网信誉等级评定

产品展示