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QFU-170-360R双轴气浮运动台定制系统
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价格:¥电议
更新日期:2026/9/20 19:01:15
生 产 地:中国大陆
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详细内容
结构特点
· 行程170mm*360°
· 非接触式气浮直驱结构
· 直线轴双向重复定位精度100nm
· 轴向跳动误差170nm
· 径向跳动误差60nm
产品细节图

结构描述
QFU-170-360R双轴气浮运动台定制系统分别采用气浮导轨(Z轴)和气浮轴承(C轴),直驱电机及光栅尺组成,Z轴采用无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。ZC轴为闭式气浮,侧向刚度大,适合负载质心有偏离运行中心线的测量应用。
双轴气浮运动台定制系统采用的大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。
规格参数



