QFHDS系列三轴超精密气浮运动台

三轴超精密气浮运动台实现在XYZ方向上超精密定位。

产品特点

• 可选碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度；

• 平面式气浮，避免阿贝误差影响；

• 重复定位精度±75nm，定位精度±0.15µm；

• 速度1m/s，快速的整定时间；

• 可选光栅或激光尺位置反馈；

• 龙门式双驱结构，承载能力强；

• 优化后的线缆管理系统。

产品图片

应用领域

随着半导体行业的不断发展，三轴超精密气浮运动台相应的加工检测设备的性能必须提高，我司在运动控制上有着丰富的定位经验，推出了一款平面式H形气浮运动台。QFHDS采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。

产品优势

采用碳化硅陶瓷设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。用此材料及结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，速度达到1m/s,加速度可达4g.利用多年的气浮轴承制造经验，开发一种新的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。

根据应用，QFHDS可用于主动或被动隔振系统，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等，整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保*操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境.

规格参数

售后服务

我公司在2小时内响应维护服务，24小时内到达现场维护，为更好的做产品售后服务工作，及时接收用户反馈的问题。

免费的电话咨询和服务；

反馈时间不超过2小时；

如果需要到现场服务，质保期外的我公司只收取人员的差旅费（北京市内除外）；

质保期外的，硬件如果需要更换或修理，只收取硬件的成本；

设备正常运行验收后，我公司指派专业工程师负责在现场为贵单位提供不受人员限制的产品设备培训，培训内容包括：设备正确操作使用知识；识别初级故障及必要的恢复方法；常见故障排除方法。