产品展示
三轴气浮运动台
点击次数：518
价格：￥电议
更新日期：2026/9/20 19:01:09
生 产 地：中国大陆
产品型号：QFL3D系列
- 电话: 15******608
- 手机: 15******608
- 微信:
- 交换名片后展示联系方式 → →
详细内容
结构特点
QFL3D系列是一款预负载结构的三轴气浮运动台，气浮结构已证明是精密应用中的理想选择，适用飞秒激光加工、微纳制造等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是定位抖动，还是速度稳定性，QFL3D系列都是良好的解决方案。
定制化
根据用户的应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如直接在XY轴上增加Z轴，平升Z轴或定制大理石基座、立柱及横梁上侧挂Z轴等。此外可提供激光触发同步输出信号。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。
洁净室兼容性
气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理也符合实验室环境。
规格指标
型号 Model | 单位Units | QFL3D-50-50-25 | QFL3D-50-50-50 | |||||
轴系 Axis | — | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 Travel | mm | 50 | 50 | 25 | 50 | 50 | 50 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.05 | ±0.05 | ||||
高精版 Plus | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
普通版 Standard | ±0.2 | ±0.2 | ||||||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | nm | ±10 | ±10 | ||||
高精版 Plus | ±40 | ±40 | ||||||
普通版 Standard | ±75 | ±75 | ||||||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.015 | ±0.015 | ||||
高精版 Plus | ±0.05 | ±0.05 | ||||||
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.05 | ±0.05 | ||||
普通版 Standard | ±0.25 | ±0.25 | ||||||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.1 | ±0.1 | ||||
普通版 Standard | ±0.35 | ±0.4 | ||||||
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±0.35 | ±0.4 | ||||
普通版 Standard | ±1 | ±1 | ||||||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) | nm | ≤1, ≤ 5（选配） | ||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 100 | ||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||||
最大负载 Max Load | kg | 5 | ||||||
供气压力 Operating Pressure (4) | MPa | 0.5±0.05 | ||||||
型号 Model | 单位Units | QFL3D-100-100-25 | QFL3D-100-100-50 | |||||
轴系 Axis | — | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 Travel | mm | 100 | 100 | 25 | 100 | 100 | 50 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.05 | ±0.05 | ||||
高精版 Plus | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
普通版 Standard | ±0.2 | ±0.2 | ||||||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | nm | ±10 | ±10 | ||||
高精版 Plus | ±40 | ±40 | ||||||
普通版 Standard | ±75 | ±75 | ||||||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.015 | ±0.015 | ||||
高精版 Plus | ±0.05 | ±0.05 | ||||||
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.05 | ±0.05 | ||||
普通版 Standard | ±0.4 | ±0.4 | ||||||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.15 | ±0.15 | ||||
普通版 Standard | ±0.5 | ±0.5 | ||||||
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±0.5 | ±0.5 | ||||
普通版 Standard | ±1.5 | ±1.5 | ||||||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) | nm | ≤1, ≤ 5（选配） | ||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 100 | ||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||||
最大负载 Max Load | kg | 5 | ||||||
供气压力 Operating Pressure (4) | MPa | 0.5±0.05 | ||||||
型号 Model | 单位Units | QFL3D-150-150-25 | QFL3D-150-150-50 | |||||
轴系 Axis | — | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 Travel | mm | 150 | 150 | 25 | 150 | 150 | 50 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.05 | ±0.05 | ||||
高精版 Plus | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
普通版 Standard | ±0.2 | ±0.2 | ||||||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | nm | ±10 | ±10 | ||||
高精版 Plus | ±40 | ±40 | ||||||
普通版 Standard | ±75 | ±75 | ||||||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.015 | ±0.015 | ||||
高精版 Plus | ±0.05 | ±0.05 | ||||||
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.1 | ±0.1 | ||||
普通版 Standard | ±0.4 | ±0.4 | ||||||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.15 | ±0.15 | ||||
普通版 Standard | ±0.5 | ±0.5 | ||||||
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±0.5 | ±0.5 | ||||
普通版 Standard | ±1.5 | ±1.5 | ||||||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) | nm | ≤1, ≤ 5（选配） | ||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 100 | ||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||||
最大负载 Max Load | kg | 5 | ||||||
供气压力 Operating Pressure (4) | MPa | 0.5±0.05 | ||||||
型号 Model | 单位Units | QFL3D-150-150-100 | QFL3D-150-150-150 | |||||
轴系 Axis | — | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 Travel | mm | 150 | 150 | 100 | 150 | 150 | 150 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.05 | ±0.05 | ||||
高精版 Plus | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
普通版 Standard | ±0.2 | ±0.2 | ||||||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | nm | ±10 | ±10 | ||||
高精版 Plus | ±40 | ±40 | ||||||
普通版 Standard | ±75 | ±75 | ||||||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.015 | ±0.015 | ||||
高精版 Plus | ±0.05 | ±0.05 | ||||||
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.1 | ±0.1 | ||||
普通版 Standard | ±0.4 | ±0.4 | ||||||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.15 | ±0.15 | ||||
普通版 Standard | ±0.5 | ±0.5 | ||||||
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±0.5 | ±0.5 | ||||
普通版 Standard | ±1.5 | ±1.5 | ||||||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) | nm | ≤1, ≤ 5（选配） | ||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 100 | ||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||||
最大负载 Max Load | kg | 5 | ||||||
供气压力 Operating Pressure (4) | MPa | 0.5±0.05 | ||||||
特殊项目 SpecialItems (5) | 单位Units | 数值 Data |
微动步距 Min Incremental Step | nm | 默认,≤10, ≤ 50 |
定位纹波 In Position Stability | nm | 默认,≤10, ≤ 50 |
速度稳定性 Speed Stability | % | 默认,≤ 4%@1mm/s,≤ 0.2%@10mm/s |
跟随误差 Following Error | nm | 默认,≤ 20nm@10mm/s, ≤ 100nm@10mm/s |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1.取决于平台安装表面的平面度。
2.电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3.空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
4.为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25µm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
5.无特殊项目要求，出厂默认为准。
