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QFDHSiC-XY系列碳化硅平面式气浮运动台

点击次数：427

价格：￥电议

更新日期：2026/9/20 19:01:15

生产地：中国大陆

产品型号：

简单介绍：QFDHSiC-XY系列平面式气浮运动台，气浮导轨为碳化硅材质，重复定位精度±15nm，用于晶圆曝光、大尺寸飞秒激光加工、刻划光栅及无图形晶圆缺陷检测等行业

商家名片

刘**

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相关标签：气浮运动台,平面式气浮,碳化硅气浮台

详细内容

产品特点

SiC导轨，超高性能精度重复定位精度±15nm

平面式气浮结构，减小系统误差影响刚度比铝合金导轨提高了5倍

高速，快速的整定时间可选激光尺、干涉仪位置反馈

龙门式双驱结构，承载能力强优化后的线缆管理系统

应用领域

QFDHSiC-XY系列碳化硅版平面式气浮运动台，采用有限元分析优化碳化硅结构和优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能，用于晶圆曝光、大尺寸飞秒激光加工、刻划光栅及无图形晶圆缺陷检测等行业。

结构特点

QFDHSiC-XY系列采用碳化硅材质，具有非常好的刚度，是铝制结构的5倍，热膨胀系数降低了约5倍，利用有限元分析优化碳化硅导

轨结构，使设备达到高速运动而没有牺牲动态跟踪几何性能和热稳定性。新型气浮轴承补偿方式，极大提高系统的刚度和稳定性。

精度性能

采用无铁芯直线电机驱动，交叉解耦控制算法提供双驱轴的运动同步性能，气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。

线缆管理

使用带屏蔽的高柔排线，优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。同时适用无尘车间。

定制化

根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升精度性能。

规格指标

型号Model		单位Units	QFDHSiC-300-300		QFDHSiC-300-500
轴系Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	300	300	300	500
补偿后定位精度 Accuracy	高精版Plus	µm	±50	±50	±50	±100
补偿后定位精度 Accuracy	普通版Standard	µm	±75	±75	±75	±150
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	高精版Plus	nm	±3	±3	±3	±7.5
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	普通版Standard	nm	±10	±10	±10	±20
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版Plus	µm	±5	±5	±5	±10
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版Standard	µm	±15	±15	±15	±30
直线度⁽³⁾ Straightness	高精版Plus	µm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.25
直线度⁽³⁾ Straightness	普通版Standard	µm	±0.25	±0.25	±0.25	±0.45
平面度⁽³⁾ Flatness	高精版Plus	µm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.25
平面度⁽³⁾ Flatness	普通版Standard	µm	±0.25	±0.25	±0.25	±0.45
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±0.1	±0.1	±0.1	±0.4
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版Standard	arc sec	±0.5	±0.5	±0.5	±1
电子分辨率Electronic Resolution ⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版Standard	arc sec	±1
最大速度(空载)Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度(空载)Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30定制）
最大负载Max Load		kg	50
供气压力Operating Pressure⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

型号Model		单位Units	QFDHSiC-300⁻⁷00		QFDHSiC-300-1000
轴系Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	300	700	300	1000
补偿后定位精度 Accuracy	高精版Plus	µm	±50	±150	±50	±200
补偿后定位精度 Accuracy	普通版Standard	µm	±75	±200	±75	±300
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	高精版Plus	nm	±3	±15	±3	±40
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	普通版Standard	nm	±10	±40	±10	±75
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版Plus	µm	±5	±20	±5	±50
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版Standard	µm	±15	±60	±15	±100
直线度⁽³⁾ Straightness	高精版Plus	µm	±0.15	±0.4	±0.15	±0.5
直线度⁽³⁾ Straightness	普通版Standard	µm	±0.25	±0.75	±0.25	±1
平面度⁽³⁾ Flatness	高精版Plus	µm	±0.15	±0.4	±0.15	±0.5
平面度⁽³⁾ Flatness	普通版Standard	µm	±0.25	±0.75	±0.25	±1
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±0.1	±0.75	±0.1	±0.8
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版Standard	arc sec	±0.5	±1.5	±0.5	±2
电子分辨率Electronic Resolution ⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版Standard	arc sec	±1
最大速度(空载)Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度(空载)Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30定制）
最大负载Max Load		kg	50
供气压力Operating Pressure⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

型号Model		单位Units	QFDHSiC-350-350		QFDHSiC-350-500
轴系Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	350	350	350	500
补偿后定位精度 Accuracy	高精版Plus	µm	±50	±50	±50	±100
补偿后定位精度 Accuracy	普通版Standard	µm	±75	±75	±75	±150
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	高精版Plus	nm	±3	±3	±3	±7.5
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	普通版Standard	nm	±10	±10	±10	±20
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版Plus	µm	±5	±5	±5	±10
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版Standard	µm	±15	±15	±15	±30
直线度⁽³⁾ Straightness	高精版Plus	µm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.25
直线度⁽³⁾ Straightness	普通版Standard	µm	±0.3	±0.3	±0.3	±0.45
平面度⁽³⁾ Flatness	高精版Plus	µm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.25
平面度⁽³⁾ Flatness	普通版Standard	µm	±0.3	±0.3	±0.3	±0.45
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±0.2	±0.2	±0.2	±0.4
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版Standard	arc sec	±0.5	±0.5	±0.5	±1
电子分辨率Electronic Resolution ⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版Standard	arc sec	±1
最大速度(空载)Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度(空载)Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30定制）
最大负载Max Load		kg	50
供气压力Operating Pressure⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

型号Model		单位Units	QFDHSiC-350⁻⁷00		QFDHSiC-350-1000
轴系Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	350	700	350	1000
补偿后定位精度 Accuracy	高精版Plus	µm	±50	±150	±50	±200
补偿后定位精度 Accuracy	普通版Standard	µm	±75	±200	±75	±300
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	高精版Plus	nm	±3	±15	±3	±40
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	普通版Standard	nm	±10	±40	±10	±75
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版Plus	µm	±5	±20	±5	±50
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版Standard	µm	±15	±60	±15	±100
直线度⁽³⁾ Straightness	高精版Plus	µm	±0.2	±0.4	±0.2	±0.5
直线度⁽³⁾ Straightness	普通版Standard	µm	±0.3	±0.75	±0.3	±1
平面度⁽³⁾ Flatness	高精版Plus	µm	±0.2	±0.4	±0.2	±0.5
平面度⁽³⁾ Flatness	普通版Standard	µm	±0.3	±0.75	±0.3	±1
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±0.2	±0.75	±0.2	±0.8
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版Standard	arc sec	±0.5	±1.5	±0.5	±2
电子分辨率Electronic Resolution ⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版Standard	arc sec	±1
最大速度(空载)Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度(空载)Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30定制）
最大负载Max Load		kg	50
供气压力Operating Pressure⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

型号Model		单位Units	QFDHSiC-400-400		QFDHSiC-400-500
轴系Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	400	400	400	500
补偿后定位精度 Accuracy	高精版Plus	µm	±50	±50	±50	±100
补偿后定位精度 Accuracy	普通版Standard	µm	±75	±75	±75	±150
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	高精版Plus	nm	±3	±3	±3	±7.5
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	普通版Standard	nm	±10	±10	±10	±20
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版Plus	µm	±5	±5	±5	±10
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版Standard	µm	±15	±15	±15	±30
直线度⁽³⁾ Straightness	高精版Plus	µm	±0.25	±0.25	±0.25	±0.25
直线度⁽³⁾ Straightness	普通版Standard	µm	±0.35	±0.35	±0.35	±0.45
平面度⁽³⁾ Flatness	高精版Plus	µm	±0.25	±0.25	±0.25	±0.25
平面度⁽³⁾ Flatness	普通版Standard	µm	±0.35	±0.35	±0.35	±0.45
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±0.3	±0.3	±0.3	±0.4
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版Standard	arc sec	±0.5	±0.5	±0.5	±1
电子分辨率Electronic Resolution ⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版Standard	arc sec	±1
最大速度(空载)Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度(空载)Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30定制）
最大负载Max Load		kg	50
供气压力Operating Pressure⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

型号Model		单位Units	QFDHSiC-400⁻⁷00		QFDHSiC-400-1000
轴系Axis ⁽¹⁾		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	400	700	400	1000
补偿后定位精度 Accuracy	高精版Plus	µm	±50	±150	±50	±200
补偿后定位精度 Accuracy	普通版Standard	µm	±75	±200	±75	±300
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	高精版Plus	nm	±3	±15	±3	±40
单向重复定位精度⁽²⁾ Uni-Repeatability	普通版Standard	nm	±10	±40	±10	±75
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	高精版Plus	µm	±5	±20	±5	±50
双向重复定位精度⁽²⁾ Bi-Dir Repeatability	普通版Standard	µm	±15	±60	±15	±100
直线度⁽³⁾ Straightness	高精版Plus	µm	±0.25	±0.4	±0.25	±0.5
直线度⁽³⁾ Straightness	普通版Standard	µm	±0.35	±0.75	±0.35	±1
平面度⁽³⁾ Flatness	高精版Plus	µm	±0.25	±0.4	±0.25	±0.5
平面度⁽³⁾ Flatness	普通版Standard	µm	±0.35	±0.75	±0.35	±1
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±0.3	±0.75	±0.3	±0.8
俯仰、翻滚、偏摆⁽³⁾ Pitch Roll Yaw	普通版Standard	arc sec	±0.5	±1.5	±0.5	±2
电子分辨率Electronic Resolution ⁽⁴⁾		nm	0.1, 0.3（选配）
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	±0.5
正交性 Orthogonality	普通版Standard	arc sec	±1
最大速度(空载)Max Speed (No Load) ⁽⁵⁾		m/s	2
最大加速度(空载)Max Acceleration (No Load) ⁽⁵⁾		m/s²	5,（10, 20, 30定制）
最大负载Max Load		kg	50
供气压力Operating Pressure⁽⁶⁾		MPa	0.5±0.05

特殊项目SpecialItems ⁽⁷⁾	单位Units	数值Data
微动步距Min Incremental Step	nm	默认, ≤ 5, ≤ 10
定位纹波In Position Stability	nm	默认, ≤ 5, ≤ 10
跟随误差Following Error	nm	默认, ≤ 20nm@20mm/s（带载）

注：

以上为单轴精度指标，测试点在负载板上25mm处，测试环境，请咨询我们。

1. X轴为横梁轴，Y轴为双驱龙门轴，行程可根据需求定制；

2.重复定位精度≤ ±10nm，需要加激光尺或双频干涉仪和长条反射镜做反馈；

3.取决于平台安装表面的平面度；

4.电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数，电子分辨率≤0.1nm，需要用干涉仪做反馈；

5.空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小；

6.为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25µm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）

7.无特殊项目要求，出厂默认为准。

气浮运动台,平面式气浮,碳化硅气浮台

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