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供应激光干涉仪实用技巧

提供者:元丰技术(东莞)有限公司   发布时间:2026/7/13 14:41:21  阅读次数:451次  进入该公司店铺

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荣*
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主机

稳频精度:0.05ppm

动态采集频率:50 kHz

预热时间:≤6分钟

工作温度范围:(0~40)℃

存储温度范围:(-20~70)℃

环境湿度:(0~

95)%RH

1.1.动态测量应用

基于时间的动态测量

机器运动控制性能评价:

n运动控制器PID控制参数测试与设置

n高速运动后机器的稳定性测试与评价

n高性能运动控制器的微小步幅的测试

振动监视

n扫描应用:用于定位精度不重要,但恒速对实现高质量成像非常关键的场合

n机床应用:典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工

振动频率分析

n被测对象的振动频率分析

nFFT快速傅立叶变换分析

基于距离的动态测量

基于距离的动态测量,SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行”测量,即运动轴在不停顿的情况下以用户指定的间隔进行数据采集。

提供脉冲触发方式采集

CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号,配合SJ6000激光干涉仪,可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下,触发激光干涉仪按照指定的间隔位置进行数据采集。

线性测量

测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度:0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力:1nm

测量大速度:4m/s

1.1.动态测量概述

SJ6000动态测量软件搭配线性镜组、角度镜组或直线度镜组可以进行相应的线性、角度或直线度的动态测量与性能检测。

动态测量包括基于时间的动态测量和基于距离的动态测量,SJ6000动态测量软件可对动态测量数据进行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅与频率分析等。

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