設備概要/Outline
本設備使用目的將基板和光罩對位後將光罩上的圖形轉印到基板
規格/Specification
項目/Item 描述/Description 規格/Specification
UV 汞燈
Ultraviolet Lamp
波長/
Wavelength
UV 365nm - 436nm
光源/
Light Source
1000W 汞燈,
1000W Hg Lamp
使用壽命/
Lamp lifetime
平均使用壽命≥800 h
Average lifetime ≥800 h
電源供應器
Exposure Power
Supply
型號/
Model
PSTEK-2000W
操作模式
Operation Mode
恆定電壓/Constant Power （CP）
恆定照度/Constant Intensity （CI）
Intensity sensor included

手工曝光机


註記事項/Remark
5.1.請告知您的安全標準和電氣標準
Please advise of your safety standards and electrical standards
5.2.設備的裝置若有變更，能在有限的範圍內得到充分的功能要求
The mechanisms of this machine are subject to change, but limited to the
scope in which the functional requirements are fully met.
5.3.高壓水銀汞燈（1000w）保證使用時間如下:
The guaranteed lifetimes for high pressure mercury lamp （1000w）
are as follow:
1000W Hg Lamp ……………600
手动光刻机

手动光刻机，简易型手动光刻机
設置環境/Conditions for install exposure system
遵守下面的條件以達到和維持曝光系統的佳性能
Comply with conditions given below for achieving and maintaining the
optimal performance of the exposure system
本裝置，是設定在Clean room内做使用的，請在Clean room内使用。
項目/Item 規格/Specification 備考/Note
溫度/Temperature 22 ± 2℃
濕度/Humidity 55 - 60 % RH
潔淨室/Clean room Class100-1000
室內照明/Room illumination Safety yellow light

元丰技术（东莞）有限公司主要销售光谱分析仪，扫描电子显微镜，红外光谱仪，恒温恒湿箱（房），电子天平，材料试验机，二次元，三座标，轮廓仪。仪器质量得到了广大客户的认可。同时公司代理日立，岛津，东京精密，FEI，SEC等日本，德，韩的高端仪器。