Zeiss Sigma 360-560 是高性能的肖特基场发射扫描电镜，其利的GEMINI 镜筒，采用先进的肖特基场发（SFE）源，内置电子束推进器（beam booster）和In-lens 二次电子探测器， 使Zeiss Sigma 500 具有卓越的低电压性能和易于获得无以伦比的表面信息。其具体性能特点如下：

3.1 卓越的样品室空间，灵活的进样方式

Zeiss Sigma 560 FE-SEM 具有很大的样品室空间，样品室大小为：内径 358mm, 高度270.5mm。可以放入较多或较大的样品，大样品直径可达250mm。Sigma500样品台移动为

：X=130mm, Y=130mm, Z=50mm, T=-4° to 70°, R=360°，大的行程范围保证了大样品的视野范围。如果样品台行程小，能看到的范围也很小，即使大样品放进去也只能全部看到样品台行程大小的区域。

3.1 超高的束流稳定性– 其适合能谱等分析工作

Zeiss Sigma 560采用肖特基式热场发射电子枪，以及其利的Gemini 镜筒设计，使得Zeiss Sigma 500具有超高的束流稳定性（＜0.2%/h），抗噪声性能（＜1%/h），确保了能谱等分析工作的稳定性和准确性。

3.2 利的GEMINI镜筒

Zeiss Sigma 560 FE-SEM 采用获得国际上多项大奖的 GEMINI 镜筒，使其具有超高的性能。

1） 电子束推进器（beambooster）

电子束推进器是GEMINI电子光学系统的有机组成部分。无论选择的电子束加速能量有多小，推进器都会使电子束在整个镜筒中维持较高的能量。只有在通过了扫描系统后，电子束才会被减速到所选的着陆能量。由于在整个镜筒中的电子束能量较高，从而，即使在低的

工作电压条件下，镜筒也不会受到杂散磁场的干扰。