晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱概述

晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱一种采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100的洁净烘箱

晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱特点

Ø 在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；

Ø 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；

Ø 强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度。

晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱配件

Ø 高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

a) 一目了然、直观的显示

b) 搭载了新的控制算法「RSS(升降温・恒温・稳定)」

c) 程序程式输出功能(最多3点)

d) 大容量 最多1024段程序

e) 双模式信号输出

f) 对应各种状况(程式终止状态、等待判断等)

g) 综合管理大量的设定值，存储组功能

h) 程序联合运行功能(控制器间的通信)

i) 前面板接口专用通信+程序设定工具

Ø 耐高温高效空气过滤器(HEPA)

a) 特点：效率高、阻力低、容尘量大；

b) 外框材质：不锈钢;

c) 材料：超细玻璃纤维滤纸;

d) 隔板：铝箔;

e) 过滤效率：≥99.99%;

f) 显示直观，操作简单