全不锈钢洁净烘箱，高温洁净 烘箱定做技术参数

3.1 工作室尺寸

W500mm×D500mm×H500mm，多尺寸定做

3.2 材质

外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用SUS304不锈钢

3.3 温度范围

RT+20-250℃，常用温度≤200℃

3.4 温度分辨率

0.1℃

3.5 温度波动度

＜±0.5℃

3.6 温度均匀度

≤±1.5%℃（空载）

3.7 洁净度

class 100，设备采用无尘材料，适用100光刻间净化环境

3.8电源及总功率

AC380V±10% / 50HZ 总功率约7.5KW

3.9 升温速度

1-8℃/min （空载）

3.10降温方式

自然降温，可选快速降温

全不锈钢洁净烘箱，高温洁净 烘箱定做的保护功能

逆向保护装置

短路保护

漏电保护

马达过载保护

超温保护，独立感温式超温保护器

电磁门禁保护

紧急停止按钮

压差计：0～500pa(指针式)

耐高温超洁净H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100

排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N2流量计控制进气量