坚膜烘箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。

坚膜烘箱，氮气坚膜烘箱技术性能：

温度范围：RT～250℃；
均匀度：±2%℃;

温度波动度：±0.5℃（空载）
温控精度：±0.1℃;

洁净度：Class100;

计时范围：99H99M；

气体氛围：N2；

内部尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×550

600×700×800（可定制）
电源：380v , 50Hz

网板：2-4只（高度可调节)

可扩展功能：

双腔体或多腔体

智能联网功能，MES等工业自动化软件

扫码枪，扫码溯源，一键读取

自动门控，上位机程控，机械手搬运产品

坚膜烘箱也可用于半导体制造中硅片、砷化镓、碳化硅、铌酸锂、玻璃等材料涂胶的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。