塑封固化：注塑完成后，工件转移至固化加热炉，采用自动加热的方式对其进行保温固化，固化温度维持在 175℃，固化时间为 8 小时。塑封固化的主要作用是消除塑封料内部的应力。此过程主要污染物：固化有机废气。

塑封固化用洁净烘箱性能

洁净烘箱，百洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

洁净等：Class 100;

温度范围：RT+10～250/450℃；
温度均匀度：±1.5%℃;

温度波动度：±1℃（空载）；
温控精度：0.1℃;

内腔尺寸：600*600*500(mm)，可定制尺寸、多箱体一体式；

洁净烘箱耐高温高效空气过滤器(HEPA)

a、内部 100 洁净过滤器，采用耐高温高效过滤器使用有隔板设计，波纹形隔板可以精确地保持褶层间距

b、在小阻力下，大限度地利用滤料，过滤器滤材两面 180 褶翻褶形褶层，滤料折弯时有两道压痕

c、使其在隔板的尾端开成锲形盒式褶层，锲形盒式褶层可以防止滤料破损

d、特点：

效率高、阻力低、容尘量大；

外框材质：不锈钢;

滤料：超细玻璃纤维滤纸;

隔板：铝箔;

过滤效率：≥99.99%;

显示直观，操作简单