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产品展示
高分辨率晶圆测试探针台
点击次数：1980
价格：￥电议
更新日期：2026/3/18 11:08:35
生 产 地：中国大陆
产品型号：
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详细内容
- 产品介绍 产品参数 －－>
产品特性
1. 紧凑的结构
2. 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
3. 高等院校/研究所/工业用户实验室使用
4. 最大可用于12英寸以内样品测试
5. 精密丝杠传动结构，线性移动
6. 无回程差设计
7. 1微米以上电极/PAD测试
8. VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试
9. VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性测试
10. 器件的高频特性测试（最高至300GHz频率）
主要技术指标
型号
LS-WPS100-SE
LS-WPS150-SE
LS-WPS200-SE
LS-WPS300-SE
外形
580mm长*
620mm宽*
730mm高
600mm长*
700mm宽*
730mm高
660mm长*
660mm宽*
700mm高
1030mm长*
820mm宽*
730mm高
重量
约70公斤
约80公斤
约85公斤
约180公斤
电力需求
220VC, 50~60Hz
样品台
尺寸
4英寸，可360度旋转
6英寸，可360度旋转
8英寸，可360度旋转
12英寸，可360度旋转
X-Y行程
4*4英寸
6*6英寸
8*8英寸
12*12英寸
Z轴行程
6mm（快速切换）/6mm（微调）
移动精度
10um/1um
样品固定方式
真空吸附
背电极测试功能
有，样品台电学独立悬空
针座平台
U型平台，最多可放置6个针座
U型平台，最多可放置8个针座
U型平台，最多可放置10个针座
U型平台，最多可放置12个针座
光学特性
显微镜行程
X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm
显微镜移动精度
1um
切换镜头方式
显微镜快速倾仰30度
放大倍数
16~100X/20~4000X
镜头规格
目镜：10X；物镜：5X，10X，20X，50X，100X（选配）
CCD像素
50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
点针规格
X-Y-Z行程
12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度
10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度
10pA/100fA（配置屏蔽箱时）
接口形式
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向
VCSEL芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。
