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科研型晶圆测试探针台

科研型晶圆测试探针台

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更新日期:2026/3/18 11:08:35

生 产 地:中国大陆

产品型号:

简单介绍:稳定的结构,针座平台可快速升降和微调,适合针卡测试;大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计;兼容高倍率金相显微镜,可微调移动;芯片内部线路/电极/PAD测试;VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试;高等院校/研究所/工业用户实验室使用;最大可用于12英寸以内样品测试;VCS...

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产品特性



1. 稳定的结构,针座平台可快速升降和微调,适合针卡测试



2. 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计



3. 兼容高倍率金相显微镜,可微调移动



4. 芯片内部线路/电极/PAD测试



5. VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试



6. 高等院校/研究所/工业用户实验室使用



7. 最大可用于12英寸以内样品测试



8. VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性测试



9.精密丝杆传动结构,线性移动







主要技术指标



















































































































型号




LS-WPS150-SC




LS-WPS200-SC




LS-WPS300-SC




外形




820mm长*



720mm宽*



890mm高




960mm长*



850mm宽*



900mm高




1300mm长*



920mm宽*



920mm高




重量




约170公斤




约230公斤




约300公斤




电力需求




220VC, 50~60Hz




样品台




尺寸




6英寸,可360度旋转




8英寸,可360度旋转




12英寸,可360度旋转




行程




X-Y行程6*6英寸




X-Y行程8*8英寸




X-Y行程12*12英寸




移动精度




1um




样品固定方式




真空吸附




背电极测试功能




有,样品台电学独立悬空




针座平台




规格




U型平台,最多可以放置8个针座




U型平台,最多可以放置10个针座




U型平台,最多可以放置12个针座




行程&调节方式




平台可以快速升降,行程6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um




光学特性







显微镜行程




X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm




显微镜移动精度




1um




切换镜头方式




显微镜快速倾仰30度




放大倍数




20~4000X




镜头规格




目镜:10X; 物镜:5X, 10X, 20X, 50X, 100X (选配)




CCD像素




50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)




点针规格




X-Y-Z行程




12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm




机械精度




10微米/2微米/0.7微米/0.1微米




漏电精度




10pA/100fA(配置屏蔽箱时)




接口形式




香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口




应用方向




晶圆测试,光电器件测试,PCB/封装器件测试,射频测试,高压/大电流测试等





























科研型晶圆测试探针台

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