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产品展示
高低温晶圆测试真空探针台
点击次数：1931
价格：￥电议
更新日期：2026/3/18 11:08:35
生 产 地：中国大陆
产品型号：
- 电话: 13******861
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详细内容
- 产品介绍 产品参数 －－>
产品特性
1. 可进行真空环境下的高低温测试（4.2K-450K）
2. 防辐射屏设计，样品温度均匀性和稳定性更好
3. 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
4. 探针热沉设计
5.可升级自动流量控制
6. 可升级加载磁场
7. 支持光谱波长/光功率特性测试
8. 器件的高频特性（支持最高67GHz频率）
9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱波长测试
VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性测试
主要技术指标
型号
LSO-WPS50-TEC
LSO-WPS100-TEC
LSO-WPS50C-TEC
外形
900mm长*
900mm宽*
530mm高
1100mm长*
1100mm宽*
530mm高
1100mm长*
1100mm宽*
1030mm高
重量
约170公斤
约190公斤
约290公斤
电力需求
AC220V, 50~60Hz
样品台
尺寸
2英寸
4英寸
2英寸
样品固定方式
真空导热硅脂/弹簧压片
样品台移动
固定的样品台
真空度
10^-10torr最高真空
光学特性
显微镜行程
2*2英寸
4*4英寸
2*2英寸
放大倍数
变焦：7:1分辨率4µm（放大倍数216X）或者选用金像显微镜（20X-1000X）
真空腔观察窗尺寸
2inch
4inch
2inch
CCD像素
50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
温度控制
制冷方式
液氮/液氦
制冷压缩机
控制方式
开循环手动/自动冷媒流量控制
闭循环自动控制
控温范围
77~450K/4.2K~450K
4.2K~450K
控温分辨率
0.001k
温度稳定性
4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
373K ±0.08K 473K ±0.1K
823K ±0.2K（可选） 973K ±1.0K（可选）
常温到8K冷却时间
90min
150min
8K到常温升温时间
90min
90min
常温开始的升温时间
100℃ 150℃ 200 ℃
30min 50min 80min
加热电源
LVDC低压直流
传感器
硅二极管
传感器数量
样品台，防辐射屏，探针臂各一个
功率
50W/100W/500W/1000W
点针规格
探针数量
2个/4个/6个
探针调节
真空波纹管外部调节，手动控制
点针精度
10微米/2微米/0.7微米
点针行程
25mm-25mm-25mm
漏电精度
10pA/100fA
接口形式
三轴/SMA/K/光纤接口
应用方向
高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等
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