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高低温分析晶圆测试探针台

高低温分析晶圆测试探针台

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更新日期:2026/3/18 11:08:35

生 产 地:中国大陆

产品型号:

简单介绍:非真空环境下的低温测试,可达-100℃;大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计;兼容高倍率金相显微镜,可微调移动;0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试;.高等院校/研究所/公司实验室使用;VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱测试;最大可用于12英寸以内样品测试;VCSEL/LD/LE...

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详细内容

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产品特性







1. 非真空环境下的低温测试,可达-100℃



2. 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计



3. 兼容高倍率金相显微镜,可微调移动



4. 0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试



5. 高等院校/研究所/公司实验室使用



6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱测试



7. 最大可用于12英寸以内样品测试



8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性测试



9. 精密丝杆传动结构,线性移动



10. 器件的高频特性测试(最高至300GHz频率)







主要技术指标










































































































































型号




LS-WPS150-TEC




LS-WPS200-TEC




LS-WPS300-TEC




外形




860mm长*



850mm宽*



700mm高




880mm长*



860mm宽*



750mm高




1400mm长*



920mm宽*



920mm高




重量




约150公斤




约170公斤




约250公斤




电力需求




220VC, 50~60Hz




样品台




尺寸




6英寸,可360度旋转




8英寸,可360度旋转




12英寸,可360度旋转




行程




X-Y行程6*6英寸




X-Y行程8*8英寸




X-Y行程12*12英寸




移动精度




1um




切换样品功能




样品台快速拉出




样品固定方式




真空吸附




电学运用




电学独立悬空,可作为背电极使用




针座平台




规格




O型平台,最多可以放置8个针座




O型平台,最多可以放置10个针座




O型平台,最多可以放置12个针座




行程&调节方式




平台可以快速升降,行程6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um




温控特性




温度范围




-100~200℃




-80~200℃




-60~200℃




温控精度




温度分辨率:0.01℃




加热电源




LVDC低压直流




最低控温速率




±0.1℃/小时




制冷方式




液氮制冷




光学特性




显微镜行程




X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm




切换镜头方式




显微镜气动升降




放大倍数




16~100X/20~4000X




镜头规格




目镜:10X; 物镜:5X, 10X, 20X, 50X, 100X (选配)




CCD像素




50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)




点针规格




X-Y-Z行程




12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm




机械精度




10微米/2微米/0.7微米/0.1微米




漏电精度




10pA/100fA(配置屏蔽箱时)




接口形式




香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口




应用方向




高低温环境下,LD/LED/PD测试,PCB/封装器测试,射频测试等






































高低温分析晶圆测试探针台

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