这类需要使用的精密气浮转台，一般要求具有直驱无刷电机、增量式以及相应的驱动控制器和控制软件。常见的有机械轴承转盘和气浮轴承转盘两种。

测量精密气浮转台的精度主要取决于以下几个参数。

角精度可以通过配置更高标准的光栅尺反馈，这取决于光栅的直径大小，角度精度通常是±0.5-±2arcsec的范围。若某些特定的应用方案需要较高的角度精度，则可采用补偿的方法。通过自动准直仪校准，其角度精度可达<0.5arcsec。

机械式和气浮式轴承的转盘，其角度精度差别不大。

末端跳是指在转动任何旋转平台时，转台的转子工作面沿轴心上下方向跳动。一个径跳就是在旋转时，转台的转子轴在周围这一方向跳动。任何时候，转台旋转时都存在这两个误差，仅仅是误差大小的差别。

造成技术原理相似但精度差别很大的主要原因是：

空气浮轴承工艺及工艺；

转子、定子的加工精度，特别是圆度定子的加工；

转子和定子的表面粗糙度；

装配一体化流程；

马达的各种作用；

以上就是小编为大家介绍的全部内容，看完这篇文章相信大家应该有所了解了。