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Thyracont真空计在薄膜沉积行业应用

提供者:赫尔纳贸易(大连)有限公司   发布时间:2026/8/13 11:23:33  阅读次数:356次  进入该公司店铺

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王**
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大连力迪流体控制技术有限公司作为thyracont中国区总代理,诚挚为各位提供德国thyracont全系列产品。

大连力迪提供的thyracont真空计以及真空控制器应用于真空处理的各行各业。

Thyracont开发制造智能真空测量和控制仪器,以对精度的热情,为客户提供真空应用服务,多种制造工艺。我们的真空产品在大型应用领域也能提供服务。应用包括,例如过程工业,涂层,分析和研发以及半导体和太阳能。

主要应用行业

l镀膜设备

l旋转蒸发器

l真空泵QA

l冻结干燥器

l光谱仪

l实验室工作站

l真空隔离

l真空包装

l泄漏测试

电子束行业

Thryacont提供高精度的皮拉尼压阻复合真空计、皮拉尼热阴极、皮拉尼冷阴极复合真空计,薄膜规,精度高,满足PVD镀膜(溅射镀膜)的高精度真空度检测。

l皮拉尼/热阴极:VSH 1000到5x10~10mbar

l皮拉尼/冷阴极:VSM 1000到5x10~9mbar

l压阻/皮拉尼:VSR 1200到1x 10~4mbar

l皮拉尼:VSP1000到1x10~mbar

l压阻规:VSC43 1400到1mbar Piezo

l电容规:VCC200 200到1x 10mbar

真空表优势:

•具有16bar的超压稳定性,无需超压阀,节约成本

•响应速度快,精度高

•防护等级最高可达IP54

•法兰处耐温度,高达160摄氏度

•输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接

薄膜规VCC200

测量原理

电容式薄膜规,和气体类型无关

测量范围

200 - 0.1 mbar (150 - 0.1 Torr)

最大超压

6 bar abs

精度:

满量程0.25%(线性度、迟滞、重复性)

接触真空的材料

不锈钢1.4305,Al₂O₃陶瓷,FKM

时间

< 120ms (10 ... 90%)

电气接口

M12 A型圆形编码,5针,公头,可锁定

输出信号

4 - 20 mA, linear

接口

小法兰DN16 ISO KF 带 G1/4 内螺纹

薄膜规VSC43

测量原理

压阻式,与气体类型无关

测量范围

1400 - 1 mbar (1050 - 1 Torr)

最大超压

4 bar 绝对压力

精度:

满量程的0.3% (线性度、迟滞、重复性)

接触真空的材料

不锈钢1.4305,Al₂O₃陶瓷,FKM

反应时间

< 20 ms

电气接口

lM12 A型圆形编码,5针,公头,可锁定

l赫斯曼(Hirschmann)型,6针,公头,可锁定

输出信号(线性)

l4 - 20 mA

l0–10 v

接口

小法兰DN16 ISO KF 带 G1/4 内螺纹


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