提供者：旭阿科技（上海）有限公司 发布时间：2025/9/15 15:57:03 阅读次数：1708次 进入该公司店铺
扫描电镜等离子清洗机
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产品型号：
CIF-SEM
CIF扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于SEM或FIB等腔体内碳氢化合物的清洗。与国内外知名厂商电镜配套使用。
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
u 远程等离子清洗源
u 清洗快速、高效
u 低轰击损伤
三、设备参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40（CF40） |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调 |
远程等离子源，自动匹配器 | |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | AC220V，50/60Hz，320W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-500SCCM |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
产品尺寸 | L320xW385xH465mm |
包装尺寸 | L440xW535xH725mm |
整机重量 | 25kg |
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