透射电镜样品杆清洗机_仪器仪表技术文献

提供者：旭阿科技（上海）有限公司发布时间：2025/10/24 10:01:22 阅读次数：1525次进入该公司店铺

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透射电镜样品杆清洗机
http://www.app17.com/c155030/products/d14471246.html

产品型号：

CIF-TEM

一、应用领域

等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

二、设备特点

u 远程离子清洗源u

u 一机多用

u 清洗高效快速，低轰击损伤

三、设备参数

产品型号	CIF-TEM
等离子电源	13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-150W可调
等离子电源	远程等离子源，自动匹配器
清洗室	清洗室尺寸Ø180xH100mm
清洗数量	可同时清洗3支TEM样品杆
适配品牌	美国THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本电子（JEOL）
气体控制	标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制	皮拉尼真空计，测量范围1.0E-5Pa~1E+5Pa
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
真空泵	前级泵
	抽气速率2.5平方米/时
	分子泵
	极限真空：LF<810^-6Pa，CF<810^-7Pa
	分子泵抽速85L/s（N2）
	入口法兰：DN63ISO-K(LF)/ CF
质量保证	二年质保，终身维护
电源	AC220V、50/60Hz，300W
产品尺寸	L565xW505xH560mm
包装尺寸	L715xW655xH820mm
整机重量	68kg