一、开启：2 个 “必须确认”，避免无效操作

1. 必须确认气体类型与湿度
   • 仅在抽取含湿气体（如潮湿空气、蒸馏尾气、清洗后腔体排气）或观察到泵油乳化（呈乳白色）、排气口滴水时开启气镇；若抽取干燥气体（如氮气、惰性气体）或无水分，开启气镇会无意义且降低真空度。
   • 严禁在抽取腐蚀性气体（如盐酸、氨气、有机溶剂蒸汽）时开气镇：气镇无法解决腐蚀问题，反而会引入空气（含氧气）加剧泵体、密封圈的氧化腐蚀，需换用用防腐真空泵。
2. 必须确认真空需求与泵体状态
   • 若工艺需高真空（如真空镀膜、精密封装，要求真空度≤10⁻¹Pa），仅能在 “期排湿阶段” 短暂开气镇，待水分排净后立即关闭；若全程需高真空，绝对禁止开气镇。
   • 启动检查泵油位（需在油标 “MIN-MAX” 之间）：油位过低会导致密封失效，开气镇后真空度骤降；油位过高则可能引发排气口喷油，需先调整油位再操作。

二、运行中：3 个 “严格监控”，防止设备损伤

1. 严格监控真空度变化
   • 气镇开启会引入少量干燥空气，导致限真空度下降（通常从 10⁻²Pa 降至 10⁰Pa ），需实时观察真空表：若真空度低于工艺要求（如从 50Pa 降至 500Pa），需立即减小气镇开度或暂时关闭，待真空回升后再微调。
   • 若真空度骤降且无法恢复，需停机检查：可能是气镇阀芯漏气、泵油乳化失效或进气口密封损坏。
2. 严格监控泵体温度
   • 气镇运行时泵温会比正常状态高 5-10℃（正常工作温度≤80℃），若温度超过 90℃，必须立即关闭气镇：高温会导致泵油粘度下降、密封性能失效，甚至烧毁电机。
   • 禁止在高温环境（如夏季露天、靠近热源）长时间开气镇，需确保泵体散热通畅（清理散热片灰尘、避免遮挡通风口）。
3. 严格控制气镇开度
   • 禁止一次性将气镇开至：需从小开度开始，观察 2-3 分钟，若排气口仍有水珠、真空度稳定，再缓慢增大开度（每次调节不超过 1/4 圈）。
   • 开度越大，排湿能力越强，但真空度损失越多、泵温越高，需在 “排湿效果” 与 “真空需求” 间找到平衡（如粗抽湿空气可开 3/4 开度，精细排湿开 1/2 开度）。

三、关闭后：2 个 “关键收尾”，延长设备寿命

1. 把握正确关闭时机
   • 工艺结束后，先关闭气镇开关，让真空泵继续运行 1-2 分钟（将泵内残留的干燥空气抽出，避免残留空气影响下次启动真空度），再关闭真空泵电源。
   • 若泵油已轻微乳化，可在关闭进气阀后，开启气镇空载运行 10-15 分钟（加速油中水分蒸发排出），再关闭气镇和电源，减少油质损坏。
2. 及时检查油质与更换
   • 停机后观察泵油颜色：正常油为淡黄色 / 透明，乳化后呈乳白色、浑浊。若油质异常，需在 1-2 个工作日内更换用真空泵油（如旋片泵用 N68/N100 油，涡旋泵用用合成油），禁止混用不同型号或劣质油。
   • 换油时需排空旧油，避免新旧油混合导致粘度下降、密封失效。

四、禁忌场景：4 个 “绝对禁止”，规避安全风险

1. 禁止长时间空载开气镇：无气体抽取时，气镇引入的空气会让泵内持续压缩 “无用空气”，导致泵温飙升、油老化加速（正常空载开气镇不超过 5 分钟）。
2. 禁止高真空阶段开气镇：如真空镀膜的 “成膜阶段”、半导体工艺的 “真空封装阶段”，开气镇会瞬间破坏高真空环境，导致工艺失败、产品报废。
3. 禁止气镇故障时强行使用：若气镇开关卡住、无法调节或漏气，需停机检修（清理阀芯杂质、更换密封圈），不可强行扳动开关或用工具封堵气镇口。
4. 禁止在泵体异常时开气镇：如真空泵有异响（轴承磨损）、漏油、电机发热异常时，需先排查故障，修复后再使用气镇，避免故障扩大。