德国原装进口 等离子清洗机 DIENER TETRA30 30-50L 清洗/活化/蚀刻/涂层
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德国原装进口 等离子清洗机 DIENER TETRA30 30-50L 清洗/活化/蚀刻/涂层 联系人：肖经理 17612170323

清洗： 工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗，也可与特定气体发生化学反应从而被清洗，清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。

如：去除有机污染物，去除纳米级微粒，去除氧化层。

活化：工艺部件表面通过氧气或空气处理后，会在表面形成氧原子团，这样能使部件表面亲水性和表面张力提高，能使涂料和粘接剂更好的附着于上，提高其的粘合力和附着力。

如：PDMS键合，粘接前的预处理，涂装前的预处理，印刷前的预处理。

蚀刻：工艺部件表面通过特定气体达到精确溅射，表面材料被剥离，转变成气相被排出，溅射后的材料表面积增大并更易湿润，也使材料表面更粗糙化。通过改变工艺参数可使材料表面蚀刻出一定的形状。

如：硅蚀刻，PTFE/PFA/FEP蚀刻，光刻胶去除。

涂层：使工艺部件表面发生等离子聚合反应，前驱单体导入等离子真空腔室后使其电离并沉积至材料表面，随即发生聚合反应，形成聚合物层。

如：疏水层，亲水层，保护/阻隔层，干润滑层，疏油层。



等离子清洗机 TETRA30 主要技术参数：

1. 便捷的PC触摸屏控制，操作系统为Windows CE5.0(ARM)

2. 根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数

3. 双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制

4. 反应舱为不锈钢，宽305mm×深625 mm×高300 mm，容积约为50L

5. 高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6. 反射波自动调节，无须手工调节

7. 电极材质为铝/不锈钢

8. 运行模式为手动/自动

9. 可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程

10.真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀

11.配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

12.电源电压：400V /16A

可根据用户选择配置，可选择更大腔体


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