X荧光光谱仪是根据X射线荧光光谱分析方法配置的多通道X射线荧光光谱仪，能够分析固体或粉状样品中各种元素的成分含量，具有灵敏度高、精密度好、性能稳定、分析速度快等特点，是一种中型、经济 、高性能的波长色散X射线光谱仪。

　　X荧光光谱仪的维护和保养：

　　1 注意事项和严禁事项

　　1.1 注意事项

　　1.1.1 观察室温是否为18～28℃，湿度是否为75%或更低。

　　1.1.2 注意外部、内部冷却循环水的参数。

　　1.1.3 注意各制样设备是否运转正常，样品制作出来后是否稳定分析。

　　1.2 严禁事项

　　1.2.1 严禁点击仪器操作软件PCMXF中的紧急停止按钮“STOP”

　　1.2.2 严禁样盒不旋紧进样，造成样品卡位，严重者造成试样室、真空室损坏。

　　1.2.3 严禁环境条件及仪器参数不合格时进行分析。

　　X荧光光谱仪的技术参数：

　　1.X射线发生器： X射线管型号：Varian OEG-83J；靶：铑(薄窗口型)

　　2.高压变压器： 容量：较大50KV、100mA；极性：正极；冷却：自来水

　　3.功率控制器： PCX-16。控制方法：次极检测与初级控制微机控制；容量：较大50KV、100mA；管电压设定：20～50KV，增量5KV；管电流设定：5～100mA，增量5mA；保护功能：过载、过电压、过电流与冷却水异常(温度、压力、流量)

　　4.冷却水供应单元： CWC-16(内置)。型号：蒸馏水循环系统CWC-16；热交换：通过双管与外部冷却水进行热交换；外部冷却水：水温18℃±4℃，流量6L/min；水压：3.0kgf/cm2；内部循环水：给水压力3～4 kgf/cm2；流量5L/min；安全机构：带有离子交换树脂柱与电阻计，当水温升高，流量下降与水的导电性升高时，X射线关闭，以及在DPX-16操作面板上发出警报