紫外线臭氧清洗机好处你知多少？

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1. 产品概述：

UV-1 是一款紧凑型台式紫外线臭氧清洗机。该系统将紫外线照射、臭氧和平台加热独特地结合在一起，能够温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体（GaN、GaAs、InP、SiC）、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

2. 设备应用：

· 半导体域：

· 塑料包装和引线框架的表面清洁。

· 复合半导体（GaN、GaAs、InP 和 SiC）的表面清洗。

· 材料处理：

· 表面改性，可改善润湿性和附着力。

· 表面氧化，能进行薄氧化层沉积。

· 其他应用：

· 光阻剂的灰化、剥离和除尘。

· 清除有机污染物。

· 可用于紫外线固化。

3. 设备特点：

· 加工尺寸较大：大加工尺寸为 ø100mm（4 英寸），能满足多种样品的处理需求。

· 加热功能：加热阶段加快了清洗速度，并且实现了宽广的工艺温度范围。

· 设计紧凑：占用空间小，使用小的台式空间，方便在各种实验室或工作场所放置和使用。

· 操作简单：在大气压下操作，不需要真空系统，操作流程简便，只需放置样品后按按钮即可完成整个过程。

· 工艺温和：柔软、完全干燥的工艺不会对基材造成电损伤。

· 安全保障：盖子联锁保证了当盖子打开时，系统无法运行；具备臭氧催化剂装置，用于将废气中的臭氧浓度降低到安全水平；还有安全性能自动 N₂净化循环、加热保险丝保护、臭氧洗涤器和紧急停止开关等。

4. 产品参数：

· 反应室尺寸：需根据实际型号确定，可能与大加工尺寸 ø100mm 相关。

· 紫外线光源：如波长、功率等参数，决定紫外线照射的强度和效果。

· 臭氧产生方式及浓度：相关参数影响臭氧的产生效率和清洗效果。

· 平台加热温度范围：体现加热功能可实现的温度区间。

· 气体管道及流量控制：例如进气管的数量和气体流量的控制精度等。

· 尺寸：主机的宽、深、高尺寸，以及整体设备的占地面积等，如主机（宽 × 深 × 高）可能为特定尺寸。

· 重量：设备的整体重量。