Zygo高性价比斐索型激光平面/球面干涉Verifire™仪器操作步骤

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ZYGO激光干涉仪系列产品一览

ZYGO新一代激光干涉仪系列— VeriFire™激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、高稳频的激光系统、抗震技术、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO技术的集中体现。

ZYGO独创的激光器

——长寿命、高功率、稳频

ZYGO专有的这款激光器的的激光功率和寿命均远远超过市售的激光干涉仪中常用的氦氖激光器。其寿命评定超过60000小时，所以我们的激光器可以承诺3年免费质保，最大限度地减少停机时间和提高您的投资回报率。

ZYGO自主设计制造的长寿命大功率激光器

Verifire™——精密、操作简单、高性价比的抗震型激光干涉仪

Verifire干涉仪系统提供平面、球面、光学系统及组件的透射波前的快速，高精度测量。可以测量玻璃或塑料光学元件，如平板、透镜和棱镜，甚至精密机加工的金属和陶瓷表面。

Verifire™系统真正的斐索型激光光路设计延续了zYGO在面形计量行业无与伦比的经验。共光路的设计结合ZYGO专利的采集算法，和功能强大的MX软件实现了高精度的表面计量与先进的分析能力。

SmartAveraging^™技术

测量平均对于减少随机噪声源是一种非常有效的办法，如空气湍流的影响，但如何确定最佳的平均次数是令人头疼的…平均次数太少影响测试效果，次数太多则浪费测试时间。 SmartAveraging技术是ZYGO的MXm软件中一个独特的功能，可以自动计算评估并采用最佳的平均次数。SmartAveraging TM可以减少操作员的工作量，减少操作者的人为影响，增加测量结果的一致性。

QPSI™抗震型干涉计量

优化的光学系统设计结合高功率激光器，使ZYGO专有的QPS抗震干涉技术，能够在震动环境中实现可靠的“零波纹”相位测量，并可以在质量控制实验室和生产现场提供准确的表面计量。

关键性能

斐索型共光路系统保证精密测量

友好的图形用户界面，易于生产线上操作

创新箅法使其在振动环境中也能实现准确计量

利用先进的过程控制技术，快速提取测试中不变的信息

每一帧数据都将振动信息冻结

主要指标

测试模式 PSI移相模式和QPSI快速移相模式

激光光源大功率，长寿命，稳频氦氖激光

波长 633nm

CCD分辨率 1K*1K像素

帧速 100Hz

光学放大电控1—6X

操作系统 Windows10,64bit

测试软件 ZYGO专利软件MX

Mx™软件

－－功能强大，操作简单

集成大量常用测量程序模块

² 多个样品的同时分析

² 球面曲率半径的测量

² 角锥和棱镜测量

² 双球面和三平板的测量

² 相对角度和楔板楔角的测量

² 材料均匀性的测量

² 傅立叶变换移相干涉测量(MST型)

² 动态设备如MEMS的测量

² 薄膜上下层形貌和厚度的测量

² 金属零件的测量

简单的定制过程，用户可调

² 设定数控采集和数据处理过程中的各种参数

² 选择需要显示的图像曲线和数据结果

² 几百种符合工业标准的数据可供选择

² 自定义屏幕上各种窗口的编排

² 保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果

适用于工业化生产的软件

² 质量控制－－自动显示”合格/不合格”

² 编程功能－－仪器自动按用户所编程序模式运行.产生相应的信息

² 根据用户定义的计算公式，产生相应的结果

² 实时屏现SPC

² 自动数据保存和统计

² 应用程序"锁定"功能

强大的数据分析功能

² 数据滤波和剪辑

² 像差计算

² PSF和MTF图

² 斜率图/功率谱密度/环绕能

² ASCII和"XYZ"数据格式

² Zernike 分析

² 数据和图像加减、缩放、旋转和转换

² ZEMAX、CodeV和OSLO数据格式

干涉仪附件

ZYGO公司提供大量多种附件，包括透射/反射平面/球面标准镜和参考镜，样件固定配件，扩束器，光束转换器，曲率半径测量件等。ZYGO可以根据客户要求设计和定制参考光学元件。

球面镜头TS规格

R₁:实际TS的曲率半径；D₀:通光孔径；R₂:样品直径大于D_o时候的最大可测凸面曲率;O—可定制

特殊长焦汇聚发散系列球面镜TS

超高精度镜头TF/TS