ZYGO致力于保护您在VeriFire干涉仪的长寿命期间的投资。 在全球安装了数千套系统，没有其他计量公司接近ZYGO的产品质量和客户满意度记录。质量多功能性和生产力大化您的投资Zygo公司：光学计量的导者

•我们保证VeriFire系统和组件作为完整解决方案的一部分，符合我们的ISO 9001注册设施

•VeriFire系列旨在实现可扩展性，为新应用和技术提供简便的升途径

•我们仪器的多功能性和可靠性确保了较低的总体拥有成本

•我们的仪器支持更高的吞吐量和更低的制造成本，大限度地减少操作员可变性的硬件和软件功。

性能：

VeriFire干涉仪旨在满足苛刻的应用需求。 您可以依靠ZYGO VeriFire干涉仪经过验证的性能和增强功能，在光学元件和系统的设计，开发和制造方面为您提供竞争优势。

•可追溯的参考光学校准和认证确保低测量不确定性和对结果的高信心

•利技术和真正的Fizeau通用路径设计可实现无与伦比的性能

•ZYGO的行业标准MetroPro®软件已通过国家标准认证和验证

价值

凭借数十万次安装的可靠运行，ZYGO展示了业内低的总体拥有成本。

•您可以依靠ZYGO产品的质量和可靠性来确保连续性操作和低支持成本

•通过大限度地减少操作员的可变性，ZYGO干涉仪可以缩短制造时间和降低的生产成本

•ZYGO的激光干涉仪在设计时充分考虑了您的未来，可根据您的需求变化轻松添加功能

采用zygo QPSI利的工业高功率Fizeau干涉仪，可在振动的情况下形成真正的轴上共用路径表面。

测量能力 测量反射材料和光学器件的表面形式，并透射透明光学器件的波

QPSI快速机械相移和传统机械相移干涉测量（PSI）

对齐系统快速条纹采集系统（QFAS），带双点标线

测试光束直径4 inch (102 mm) or 6 inch (152 mm)

对齐FOV4英寸：±3度；6英寸：±2度

光学中心线4.25 in. (108 mm)

相机分辨率1024 x 1024 pixels

相机帧率100HZ

采集时间130 - 300 ms

数字化8 bits

Magnification 1-6倍

偏振名义上的圆形（1.2：1或更高）

瞳孔聚焦范围4 inch: ±2.5 m；6 inch: ±5.5 m

操作系统：window 10,64位

安装配置水平或垂直

无线遥控Apple iPod智能遥控器

选项孔径-4或6英寸，·编码1-5倍变焦/聚焦 - 适用于生产零件

配件请参阅ZYGO激光干涉仪附件指南，OMP-0463

仪器尺寸：4 inch: 69 x 31 x 34 cm(27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；

6 inch: 92 x 31 x 34 cm(36.4 x 12.1 x 13.4 in.)

重量：4 inch: ≤ 85 lb (38 kg)；6 inch: ≤ 100 lb (45 kg)

质保：激光三年，整机1年

激光参数：

激光光源：高功率稳定HeNe

等IIIa

波长633 nm

频率稳定度< 0.0001 nm

输出功率<5 mW

相干长度> 100 m