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少子寿命检测在SiC领域的应用

提供者:弗莱贝格仪器(上海)有限公司   发布时间:2021/3/16 16:04:38  阅读次数:313次  进入该公司店铺

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近年来碳化硅材料的质量有了很大的提高,在大功率器件中碳化硅已成为硅的竞争对手。由于碳化硅是种宽带隙半导体,与硅相比,它有许多优点。少数载流子寿命是关系半导体器件性能的基本参数之,特别是SiC在高压器件中的应用。因此,有必要进行寿命检测,以获得某器件的佳性能。为了制造出高成品率的SiC器件,需要种具有高分辨率的材料表征方法,以及种研究SiC缺陷来源的方法,以进步提高SiC器件的质量。

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