提供者：上海隽思实验仪器有限公司 发布时间：2023/5/4 10:16:08 阅读次数：2980次 进入该公司店铺
在集成芯片生产流程中，包括提纯、制备、光刻、封装。其中关键的一环就是光刻。
而光刻技术就是指集成电路制造中利用光学、化学反应原理及化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。一般的光刻工艺要经过硅片表面的清洗烘干、涂底（用设备HMDS烤箱）、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、去除光刻胶等工序。
在涂胶工艺中，所用到的光刻胶绝大多数是疏水的，而晶片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，如果在晶片表面直接涂胶的话，势必会造成光刻胶和晶片的粘合性较差，甚至造成局部的间隙或气泡，涂胶厚度和均匀性都受到了影响，从而影响了光刻效果和显影。
通过HMDS烤箱将六甲基二硅氮烷（HMDS）涂到硅片表面后，通过加温可反应生成以硅氧烷为主题的化合物，这实际上是一种表面活性剂，它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起到耦合的作用，再者，在显影的过程中，由于它增强了光刻胶与基底的粘附力，从而有效地抑制刻蚀液进入掩模与基底的侧向刻蚀。
智能型HMDS烤箱（JS-HMDS90-AI）技术性能：
1.尺寸（深*宽*高）
内腔尺寸：450×450×450（mm）（可选其他）
2. 材质：内箱采用 316L 医用不锈钢
3.温度范围：RT+50-200℃
4.温度分辨率：0.1℃
5.温度波动度：≤±0.5
6 真空度：≤133pa（1torr）
7.电源及总功率：AC 220V±10% / 50HZ，总功率约 3.2KW
8.控制仪表：人机界面，一键运行
9.搁板层数：2 层
10.真空泵：无油涡旋真空泵
智能型HMDS烤箱（JS-HMDS90-AI）特点：
HMDS药液泄漏报警提示功能
HMDS低液位报警提示功能
工艺数据记录功能
药液管道预热功能
程序锁定保护等功能
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