提供者：深圳市大齐科技有限公司 发布时间：2023/3/20 8:59:54 阅读次数：44次 进入该公司店铺
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东京精密表面粗糙度、轮廓形状测量设备介绍
株式会社东京精密公司，自1949年设立以来一直致力于精密测量仪器和半导体加工设备的研发制造，
1962年次向市场推出表面粗糙度、轮廓形状测量设备，一经推出就收到了丰田汽车等日本汽车发动
机制造公司的广泛好评。时至日，东京精密公司持续研发的一系列表面粗糙度、轮廓形状测量设备，
可以满足客户从低到高的各种精度检测需求。
下记是东京精密新开发的表面粗糙度、轮廓形状测量机：
SURFCOMNEX2 系列：
主要特点：
规格
测量部
項目 | 型式 SURFCOM NEX DX2/SD2 | |||||||||||
12 | 13 | 14 | 15 | 22 | 23 | 24 | 25 | |||||
驱动部 | X轴 (L：测量长度 mm) | 感应方式 | 线性光栅尺 | |||||||||
真直度精度 | 双模传感器使用时 (µm) | (0.05+1.0L/1000) (L： 测量长度 mm) ※LH=50 mm测针使用时 | ||||||||||
2(0.05+1.0/1000) (L： 测量长度 mm) ※LH=100 mm测针使用时 | ||||||||||||
轮廓测量用高精度传感器使用时 (µm/mm) | 0.8/100 | 2.0/200 | ||||||||||
轮廓测量用通用传感器使用时 (µm/mm) | 0.8/100 | 2.0/200 | ||||||||||
粗糙度测量用传感器使用时 (µm) | (0.05+1.0L/1000) (L： 测量长度 mm) | |||||||||||
X轴指示精度 (µm)： 横方向*1 | ±(0.8+1.0L/100) (L： 测量长度 mm) ※100 mm驱动部 轮廓测量时 | |||||||||||
±(0.8+3.0L/200) (L： 测量长度 mm) ※200 mm驱动部 轮廓测量时 | ||||||||||||
分辨率 (µm) | 0.016 | |||||||||||
速度 (mm/s) | 移动时 | 0.03 ～ 100 | ||||||||||
测量时 | 0.03 ～ 30 | |||||||||||
倾斜角度 (°) | ±15 （倾斜装置选配件） | |||||||||||
测量台 | 立柱 | 速度 (mm/s) | 移动时 | CNC时 | Max. 50 | |||||||
J/S操作时 | Max. 35 | |||||||||||
底座 | 材质 | 辉长岩 | ||||||||||
传感器
双模传感器 | 测量范围 | Z轴 (mm)： 纵向 | 13 (LH=50 mm测针使用时)、26 (LH=100 mm测针使用时) | |
粗糙度・轮廓测量 | 感应方式 | 高精度光栅尺 | ||
测量分辨率 (nm) | 0.9 (全量程) ※LH=50 mm测针使用时 | |||
1.8 (全量程) ※LH=100 mm测针使用时 | ||||
指示精度 (µm)： 纵向 | ±(1.0+|2H|/100) (H： 测量高 mm) ※LH=50 mm测针使用时 | |||
±(1.5+|2H|/100) (H： 测量高 mm) ※LH=100 mm测针使用时 | ||||
测针 | 粗糙度轮廓两用 (LH=50 mm) | 型式 | DM84071 (NEX 2**系统标准附属品) | |
测量力 (mN) | 0.75 | |||
测针材质 | 金刚石 | |||
测针形状 | 2 μmR/60°圆锥 | |||
轮廓用 (LH=100 mm) | 型式 | DM48775 (NEX 2**系统标准附属品) | ||
测量力 (mN) | 4 | |||
测针材质 | 超硬合金 | |||
测针形状 | 25 μmR/24°圆锥 | |||
共通功能 | 向下测量 / 碰撞感应安全机构 / 缩回功能 | |||
轮廓测量用 | 测量范围 | Z轴 (mm)： 纵向 | 60 | |
轮廓测量 | 感应方式 | 高精度光栅尺 | ||
测量分辨率 (µm) | 0.04 (全量程) | |||
指示精度 (µm)： 纵向 | ±(1.2+|2H|/100) (H： 测量高 mm) ※温度20±2℃时 | |||
±(1.5+|2H|/100) (H： 测量高 mm) ※温度20±5℃时 | ||||
测针 | 轮廓用 | 型式 | DM45505 (NEX *3*系统标准附属品) | |
测量力 (mN) | 10 ～ 30 (手动調整) | |||
测针材质 | 超硬合金 | |||
测针形状 | 25 μmR/24°圆锥 | |||
功能 | 上下测量 / 碰撞感应安全机构 / 缩回功能 | |||
轮廓测量用 | 测量范围 | Z轴 (mm)： 纵向 | 60 | |
轮廓测量 | 感应方式 | 高精度光栅尺 | ||
测量分辨率 (µm) | 0.02 (全量程) | |||
指示精度 (µm)： 纵向 | ±(0.8+|2H|/100) (H： 测量高 mm) | |||
测针 | 轮廓用 | 型式 | DM45505 (NEX *4*系统标准附属品) | |
测量力 (mN) | 2 ～ 30 (通过测量・分析软件 ACCTee调整) | |||
测针材质 | 超硬合金 | |||
测针形状 | 25 μmR/24°圆锥 | |||
功能 | 上下测量 / 碰撞感应安全机构 / 缩回功能 | |||
表面粗糙度测 | 测量范围 | Z轴 (µm)： 纵向 | 1000 | |
粗糙度测量 | 感应方式 | 差动电感 | ||
测量范围(µm) | 6.4 ～ 1000 | |||
测量分辨率 (nm) | 0.1 ～ 20 | |||
测针 | 粗糙度用 | 型式 | DM43801 (NEX **1系统标准附属品) | |
测量力 (mN) | 0.75 | |||
测针材质 | 金刚石 | |||
测针形状 | 2 μmR/60°圆锥 | |||
功能 | 上下测量 / 上侧限位检测安全机构 | |||
其它
电源 | 电压 (V) 、周波数 (Hz) | 单相AC100 ～ 240、50/60 | |
消費电力 (VA) | Max. 930 | ||
空气源 (除振台) | 供给压力 (MPa) | 0.45 ～ 0.7 | |
使用压力 (MPa) | 0.4 | ||
空气消費量 (L/min) | 0.1 (Max.10) | ||
供给位置 | DX2型号： 本体左下部 / SD2型号：本体背面 (除振台选配件使用时) | ||
空气源转接头 | 外径φ6 mm 单键管接头 | ||
设置・使用环境 | 温度 | 精度保证温度 (℃)*2*3 | 20±5 (温度变化率±0.5/1时间以内、0.1/1测量时间以内) |
动作保证温度 (℃) | 15 ～ 30 | ||
保管温度 (℃) | 5 ～ 40 | ||
湿度 | 动作保证湿度 (%) | 40 ～ 80 (不能结露) | |
保管湿度 (%) | 80以下 | ||
*1 不包括使用粗糙度测量用传感器的情况。
*2 不包括温度变化引起的工件尺寸变化。
*3 轮廓测量用通用传感器的指示精度(纵向)在不同温度范围里精度保证值不同。
※必须事先准备好电源、气源及快速接头。
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