2.凭借线性驱动部获得令人吃惊的低振动已取得利

无限提升传感器的分辨率本身并非难事。然而，如果不重新审视传感 器的驱动结构，只是不必要
地提升传感器单体的分辨率，那么就没有意义，这样的规格也只是摆设而已。東京精密在全
次在驱动 部搭载高精度线性马达（已取得利），同时根本性地达到结构上的“高 精度限
点”，以动态分辨率（Dynamic Resolution）的创意实现了无与伦比的实力提升。

3.非接触驱动的有效性已取得利

线性马达也适合往复运动，可准确定位并进行高速测量。传统的控制 是组合了电机、编码器、线性光栅尺的滚珠丝杠
驱动控制，因此特别是 对于三维表面性状评价等，由于准确定位造成往复运动的控制响应性 出现了限。线性驱动
基本上是仅靠线性马达和标尺的简单控制，因 此可进行高响应性高精度的定位。

4.驱动的理由

对位：为了不损害线性马达的超低振动特性，安装在X轴驱动部的手动进机构在实际测量时，自动将
手动齿轮机构与线性测量机构的连结分离开来。这样既确保了良好的操作性，又获得了高精度。


实现高水平的高速测量：线性驱动部与无效运动少的以1/100 为单位的联合控制与启动
响应相结合，实现了总测量时间的大长缩短。进行三维粗糙度测量时，测量时间为“传统测量时间的
1/10× 测量线数”。如果测量时间短，室温变化等的测量误差要素的影响就小，这直接关系到测量结果
的可靠性。

5.拥有温度补正系统，使精度的温度范围扩大到20℃ ±5℃

NEX 系列的驱动部配备了标准温度补正系统，使精度的温度范围从原来的20℃ ±2℃扩大到了20±5℃。

以往，因为温度变化引起的热胀冷缩会使X 方向的指示精度受到影响，但是内置的温度传感器会根据实际的变化，
自动进行补正。

温度的补正与否对传感器的精度影响非常大，通过组合实现温度补正时NEX 系列特有的功能

6.免维护

日常不需要向驱动机构加注润滑脂、润滑油。本公司更改了驱动支持导轨面的材质和机构，对无给油进行实证，
实现了日常免维护。但是基于保证测量机精度的观点，我们推荐定期维护。

7.以根据需求选择传感器来决定设备型号。

●多传感器互换

SURFCOM NEX 系列能根据不同的测定要求，选择对应的传感器。

●设备纳入后再追加传感器

本体设备安装后，可通过追加传感器扩展功能