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东京精密表面粗糙度测量机
SURFCOM 1400G
从测量到检查成绩表编制全部自动执行
追求卓越的操作性
谁都可以轻松测量的AI 功能 已取得利
即使不事设定测量条件,测量机也将自动选择(粗糙度测量)
备有学习测量机操作的学习模式。“打造谁都可轻松测量的测量机”是東京精密的理念。
对应全自动测量,提高测量效率
利用示教功能,可全自动执行从多个部位的测量到粘贴数据编制检查成绩表的一系列作业。
响应顾客需求,大长强化形状评价功能
对应膜厚测量(段差/面积)、磨耗量计算(重叠形状间的面积)、液晶玻璃
基板(特殊波纹度)的规格等,诚挚地理解和反映顾客的要求。
在全的任何地方都可使用的全球对应机
对应新的全球标准ISO、JIS、DIN、ASME、CNOMO等。
也取得欧洲的安全基准CE标识。
对应日语、中文、韩语、英语、德语、法语、意大利语、西班牙语等各国语言。
只需一次测量即可自由自在地重新分析
改变测量基准(直线/半/后半/ R 面/两端)进行分析,任意设定
评价范围进行分析,去除缺口等异常数据进行分析等,只需一次测量即
可自由自在地进行重新分析。
无浪费,先一步的扩展性
只需追加单元即可轻松从二维粗糙度升到三维粗糙度,或者从粗糙度(二维/三维)
升到粗糙度和轮廓的复合机。

规格
SURFCOM 1400G | ||||||||||||
-11 | -12 | -13 | -14 | -21 | -22 | -23 | -24 | |||||
测量范围 | Z 轴(纵向) | 800 μm | ||||||||||
X 轴(横向) | 100 mm | 200 mm | ||||||||||
精度 | 测量范围 | 800 μm 范围〜 25 μm 范围 (6.4 μm 范围 ) *3 | ||||||||||
测量分辨率 | 0.02 μm 〜 0.0004 μm (0.0001 μm) *3 | |||||||||||
驱动部 | 分辨率 | 0.04 μm | ||||||||||
直线度精度 | 0.05 + 1.5L/1000 μm(L :测量长度 mm) | |||||||||||
感应方式 | 莫尔光栅尺 | 线性光栅尺 | ||||||||||
测量速度 | 0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6 mm/s(8 速) | |||||||||||
立柱上下动速度(Z轴) | — | 10 mm/s(3 mm/s)*1 | — | 10 mm/s(3 mm/s)*1 | ||||||||
传感器 | 感应方式 | 差动变压器 | ||||||||||
粗糙度测量用 | 测针、测量力 | 交换式、0.75 mN | ||||||||||
测针半径(测针材质) | 粗糙度测针 :2μm R(60°圆锥金刚石)波纹度齿轮头 :800μm R(红宝石球)各 1 个 标准配置 | |||||||||||
运行范围 | 驱动部行程 | 100 mm | 200 mm | |||||||||
立柱上下移动行程 | 250 mm | 450 mm | 250 mm | 450 mm | ||||||||
尺寸 | 600 x 317 mm | 1000 x 450 mm | 600 x 317 mm | 1000 x 450 mm | ||||||||
石平台参数 | 容许承载质量 | 使用台式除振台(E-VS-S57B/S58B)时 | 48 kg | 42 kg | 33 kg | - | 43 kg | 37 kg | 28 kg | - | ||
使用台式大型除振台 (E-VS-S45 A) 时 | 50 kg | 40 kg | 30 kg | 98 kg | 50 kg | 40 kg | 30 kg | 93 kg | ||||
使用除振台(E-VS-R16 D)时 | 50 kg | 40 kg | 30 kg | 48 kg | 50 kg | 40 kg | 30 kg | 43 kg | ||||
使用除振台(E-VS-R21 B)时 | 50 kg | 40 kg | 30 kg | 100 kg | 50 kg | 40 kg | 30 kg | 100 kg | ||||
参数 | 设置尺寸 *2 | 宽度 | 2000 mm | 2300 mm | 2000 mm | 2300 mm | ||||||
深度 | 1000 mm | 1000 mm | ||||||||||
高度 | 1700 mm | 1900 mm | 1700 mm | 1900 mm | ||||||||
质量 | 115 kg | 120 kg | 130 kg | 235 kg | 120 kg | 125 kg | 135 kg | 240 kg | ||||
电源、消耗功率 | 单相 AC220V±10%(需接地)、电源频率 50Hz、710VA | |||||||||||
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