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CM-4实验室晶圆测试探针台

提供者:深圳市森东宝科技有限公司   发布时间:2017/5/22 9:22:26  阅读次数:943次  进入该公司店铺

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向**
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  • 公司:深圳市森东宝科技有限公司
  • 电话:18******958
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特点:

磁性吸附式,可调范围:x: ±6.5mm, y: ±6.5mm,z: ±6.5mm
设备重量:约30 KG
外形尺寸:500mm×500mm×550mm(长×宽×高)


使用环境:
电源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz
功率:0.05kW
真空:-80 KPa
环境温度:15oC-30oC

相对湿度<60%


技术指标:

可测圆片尺寸:2″、3″、4″、6″(可根据客户情况制定)
工作台行程:155mm×155mm
结构:精密直线导轨,滚珠丝杠
分辨率:0.001mm-0.01mm(根据需求丝杆导程可选)
操作方式:手轮
承片台Z向:接触/分离:行程 0.5mm
承片台θ向
微调范围:±15°
吸片盘:吸片方式:真空吸附
显微镜:双目体视显微镜45X(可根据客户要求更改倍率)

照明灯:LED环形灯



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