提供者:深圳市森东宝科技有限公司 发布时间:2017/8/2 8:58:07 阅读次数:1861次 进入该公司店铺
CM探针台能够胜任的测试有:
序号 | 根据测试样品分类 | 序号 | 根据应用分类 | |
1 | 晶圆测试 | 1 | 射频测试 | |
2 | LED测试 | 2 | 高温环境测试 | |
3 | 功率器件测试 | 3 | 低电流(100fA 级)测试 | |
4 | MEMS测试 | 4 | I-v/c-v/p-iv测试 | |
5 | PCB测试 | 5 | 高压,大电流测试 | |
6 | 液晶面板测试 | 6 | 磁场环境测试 | |
7 | 太阳能电池片测试 | 7 | 辐射环境测试 | |
8 | 材料表面电阻率测试 | 9 | 积分球测试 |
二、工作环境
l 探针台应放在稳定可靠的台面上,最好是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。
l 使用最佳温度范围为5℃~40℃,最佳湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。
l 使用电源:220±10%,50~60Hz
三、技术参数:
1、主要性能参数:
规格 | ||
Chuck | 4" 不锈钢,真空吸附型,独立开关控制 | |
Chuck X-Y轴行程,精度 | 4" x4",<10um | |
Chuck 旋转角度 | 0~360 度 | |
Chuck 旋转角度微调精度 | 0.01° | |
Chuck快速升降 | 5mm | |
Chuck 平整度 | 5um | |
针座平台 | U型设计,可放置8个BT 型针座 | |
针座平台平整度 | 5 um | |
显微镜Z轴行程,精度 | 2",细调精度0.1um | |
需求 | ||
电力 | 220 VAC, 60Hz | |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
尺寸 | ||
400mm宽*4000mm长*400mm高(带显微镜) | ||
重 30 Kg(带显微镜) | ||
可选附件 | ||
激光切割 | ||
加热台 | ||
防震桌 | ||
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 | ||
光强/波长测试接口部件 | ||
射频测试探头和线缆 | ||
有源探头 | ||
低电流/电容测试 | ||
高压测试 | ||
CCD视频系统 | ||
液晶漏电分析套装 | ||
屏蔽箱 | ||
镀金Chuck | ||
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