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手套箱内操作迷你探针测试台的主要技术参数

提供者:深圳市森东宝科技有限公司   发布时间:2017/8/2 8:58:07  阅读次数:1861次  进入该公司店铺

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CM系列 探针台造型小巧,测量精度高,操作方便,符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。

CM探针台能够胜任的测试有:

序号

根据测试样品分类

序号

根据应用分类

1

晶圆测试

1

射频测试

2

LED测试

2

高温环境测试

3

功率器件测试

3

低电流(100fA 级)测试

4

MEMS测试

4

I-v/c-v/p-iv测试

5

PCB测试

5

高压,大电流测试

6

液晶面板测试

6

磁场环境测试

7

太阳能电池片测试

7

辐射环境测试

8

材料表面电阻率测试

9

积分球测试

二、工作环境

l 探针台应放在稳定可靠的台面上,最好是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

l 使用最佳温度范围为5℃~40℃,最佳湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。

l 使用电源:220±10%,50~60Hz

三、技术参数:

1、主要性能参数:

规格

Chuck

4" 不锈钢,真空吸附型,独立开关控制

Chuck X-Y轴行程,精度

4" x4",<10um

Chuck 旋转角度

0~360 度

Chuck 旋转角度微调精度

0.01°

Chuck快速升降

5mm

Chuck 平整度

5um

针座平台

U型设计,可放置8个BT 型针座

针座平台平整度

5 um

显微镜Z轴行程,精度

2",细调精度0.1um

需求

电力

220 VAC, 60Hz

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸

400mm宽*4000mm长*400mm高(带显微镜)

重 30 Kg(带显微镜) 

可选附件

激光切割

加热台

防震桌

显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测

光强/波长测试接口部件

射频测试探头和线缆

有源探头

低电流/电容测试

高压测试

CCD视频系统

液晶漏电分析套装

屏蔽箱

镀金Chuck

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